| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| ·概述 | 第12-13页 |
| ·纳米多层结构膜 | 第13-14页 |
| ·纳米多层结构膜的机制 | 第13页 |
| ·纳米多层结构膜的分类 | 第13-14页 |
| ·纳米晶复合膜 | 第14-17页 |
| ·纳米晶复合膜的分类 | 第14-15页 |
| ·纳米晶复合膜的形成原理 | 第15-16页 |
| ·纳米晶复合薄膜的性能特点 | 第16-17页 |
| ·纳米晶复合膜研究需要解决的问题 | 第17页 |
| ·纳米复合薄膜的制备方法 | 第17-23页 |
| ·离子镀技术原理及发展 | 第17-19页 |
| ·电弧离子镀 | 第19-23页 |
| ·课题研究的目的、意义及内容 | 第23-25页 |
| 第2章 实验设备及实验方法 | 第25-34页 |
| ·实验设备 | 第25-33页 |
| ·基材的选择 | 第26页 |
| ·基体的预处理 | 第26-27页 |
| ·薄膜制备方法 | 第27-28页 |
| ·薄膜结构与性能表征方法 | 第28-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 在 304 不锈钢基体上沉积 Ti–Cu–N 纳米复合膜 | 第34-51页 |
| ·负偏压幅值对 Ti–Cu–N 纳米复合膜的影响 | 第34-41页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的结构与成分分析 | 第34-37页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜中 Cu 元素化学状态分析 | 第37页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的表面性能 | 第37-40页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的机械性能 | 第40-41页 |
| ·占空比对 Ti-Cu-N 纳米复合膜的影响 | 第41-50页 |
| ·脉冲负偏压为 300V 改变占空比沉积 Ti-Cu-N 纳米复合膜 | 第41-45页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的结构和成分分析 | 第41-43页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜 Cu 元素化学状态分析 | 第43-44页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜表面性能分析 | 第44页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的机械性能 | 第44-45页 |
| ·脉冲负偏压为 600V 改变占空比沉积 Ti-Cu-N 纳米复合膜 | 第45-50页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| 第4章 在 M2 高速钢基体上沉积 Ti–Cu–N 纳米复合膜 | 第51-69页 |
| ·负偏压幅值对 Ti–Cu–N 纳米复合膜的影响 | 第51-58页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的结构和成分分析 | 第51-55页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜中 Cu 元素化学状态分析 | 第55页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的表面性能 | 第55-57页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的机械性能 | 第57-58页 |
| ·占空比对 Ti-Cu-N 纳米复合膜的影响 | 第58-67页 |
| ·脉冲负偏压为 300V 改变占空比沉积 Ti-Cu-N 纳米复合膜 | 第58-62页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的结构和成分分析 | 第58-60页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜 Cu 元素化学状态分析 | 第60-61页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的表面性能 | 第61-62页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的机械性能 | 第62页 |
| ·脉冲负偏压为 600V 改变占空比沉积 Ti-Cu-N 纳米复合膜 | 第62-67页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的结构和成分分析 | 第62-65页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜中 Cu 元素化学状态分析 | 第65-66页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的表面性能 | 第66-67页 |
| ·Ti–Cu–N 纳米复合膜的机械性能 | 第67页 |
| ·结论 | 第67-69页 |
| 第5章 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
