| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-25页 |
| ·压电铁电材料概述 | 第15-19页 |
| ·压电体与铁电体之间的关系 | 第15页 |
| ·压电材料 | 第15-16页 |
| ·铁电材料 | 第16-17页 |
| ·压电铁电材料的性能参数 | 第17-19页 |
| ·压电铁电陶瓷材料的应用 | 第19页 |
| ·无铅压电铁电陶瓷材料 | 第19-22页 |
| ·铌酸钾钠基铁电薄膜 | 第22-23页 |
| ·本论文的研究内容和章节安排 | 第23-25页 |
| 第二章 薄膜的制备技术与测试分析设备 | 第25-32页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第25页 |
| ·薄膜的测试分析设备 | 第25-32页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第25-27页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第27页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第27-29页 |
| ·漏电流测试系统 | 第29-30页 |
| ·阻抗分析仪 | 第30-31页 |
| ·铁电测试系统 | 第31-32页 |
| 第三章 (1-x)KNN-xLN无铅铁电薄膜的制备 | 第32-40页 |
| ·(1-x)KNN-xLN前驱体溶液配制方案的选择 | 第32-33页 |
| ·实验原料的选择 | 第32-33页 |
| ·前驱体溶液浓度的选择 | 第33页 |
| ·实验仪器 | 第33-34页 |
| ·(1-x)KNN-xLN前驱体溶液的配制 | 第34-35页 |
| ·旋涂与热处理 | 第35-38页 |
| ·衬底和底电极的选择 | 第35-36页 |
| ·旋涂湿膜 | 第36-37页 |
| ·热处理 | 第37-38页 |
| ·(1-x)KNN-xLN薄膜制备流程 | 第38页 |
| ·顶电极的制备 | 第38-40页 |
| 第四章 (1-x)KNN-xLN无铅铁电薄膜的微观结构和电学性能研究 | 第40-81页 |
| ·XRD测量与分析 | 第40-46页 |
| ·不加PVP制得的KNN薄膜 | 第40-41页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的KNN薄膜 | 第41-43页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的0.94KNN-0.06LN薄膜 | 第43-44页 |
| ·KNN薄膜与0.94KNN-0.06LN薄膜的比较 | 第44-45页 |
| ·流动高纯氧气氛中退火制得的(1-x)KNN-xLN薄膜 | 第45-46页 |
| ·SEM测量与分析 | 第46-57页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的KNN薄膜 | 第46-48页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的0.94KNN-0.06LN薄膜 | 第48-49页 |
| ·大气气氛中退火的KNN和0.94KNN-0.06LN薄膜比较 | 第49-50页 |
| ·大气气氛中不同热处理方式的比较 | 第50-52页 |
| ·流动高纯氧气氛中退火制得的不同掺Li量的KNN薄膜 | 第52-55页 |
| ·不同气氛下退火制得的0.94KNN-0.06LN薄膜 | 第55-57页 |
| ·AFM测量与分析 | 第57-60页 |
| ·EDS测量与分析 | 第60-61页 |
| ·介电性能 | 第61-72页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的KNN薄膜 | 第61-63页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的0.94KNN-0.06LN薄膜 | 第63-65页 |
| ·大气气氛中退火的KNN和0.94KNN-0.06LN薄膜比较 | 第65-66页 |
| ·流动高纯氧气氛中退火制得的不同掺Li量的KNN薄膜 | 第66-68页 |
| ·流动高纯氧气氛中不同温度下退火的(1-x)KNN-xLN薄膜 | 第68-69页 |
| ·不同气氛下退火制得的(1-x)KNN-xLN薄膜 | 第69-72页 |
| ·漏电流 | 第72-76页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的KNN薄膜 | 第72-73页 |
| ·大气气氛中不同温度下退火制得的0.94KNN-0.06LN薄膜 | 第73-74页 |
| ·大气气氛中退火的KNN和0.94KNN-0.06LN薄膜比较 | 第74页 |
| ·流动高纯氧气氛中退火制得的不同掺Li量的KNN薄膜 | 第74-75页 |
| ·不同气氛下退火制得的(1-x)KNN-xLN薄膜 | 第75-76页 |
| ·铁电性能 | 第76-79页 |
| ·压电性能 | 第79-81页 |
| 第五章 铁磁-铁电复合多铁性薄膜的制备与初步测量 | 第81-84页 |
| 第六章 总结与展望 | 第84-86页 |
| ·本论文的研究内容与主要结论 | 第84-85页 |
| ·未来工作展望 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 攻读硕士学位期间学术论文投稿情况 | 第91-92页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第92页 |
