| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·微型 LED 阵列的特点及其应用 | 第10-12页 |
| ·微型 LED 阵列的国内外发展现状 | 第12-19页 |
| ·课题来源及本文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 LED 微显示集成阵列芯片设计 | 第21-42页 |
| ·LED 的工作原理 | 第21-22页 |
| ·微型 LED 阵列的材料选取 | 第22-26页 |
| ·微型 LED 阵列的整体结构设计及工作方式 | 第26-28页 |
| ·微型 LED 阵列的电极结构设计 | 第28-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 LED 微显示集成阵列芯片制作工艺流程及基础实验 | 第42-60页 |
| ·MEMS 技术简介 | 第42-47页 |
| ·器件制作工艺流程设计 | 第47-49页 |
| ·光刻掩膜版的设计 | 第49-54页 |
| ·基本实验研究 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 LED 微显示集成阵列芯片的隔离沟槽的制备 | 第60-66页 |
| ·LED 微显示集成阵列芯片中的隔离沟槽 | 第60页 |
| ·隔离沟槽的制备工艺研究 | 第60-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 总结 | 第66-68页 |
| ·工作总结 | 第66-67页 |
| ·下一步工作计划 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第72-73页 |
| 指导教师及作者简介 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |