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Zn掺杂改善SnS2薄膜电学性能

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第一章 引言第9-14页
   ·研究背景及现状第9-11页
   ·SnS_2薄膜的基本性质第11-12页
   ·SnS_2薄膜的制备方法及掺杂技术第12-13页
   ·本课题研究目的及意义第13-14页
第二章 实验第14-18页
   ·实验设备及材料第14页
   ·薄膜的制备第14-18页
     ·薄膜的蒸发沉积第14-15页
     ·薄膜的热处理工艺第15-16页
     ·掺杂SnS_2薄膜的制备第16-18页
第三章 结果与讨论第18-37页
   ·SnS_2薄膜的结构特性表征和表面形貌分析第18-25页
     ·SnS_2薄膜的XRD分析第18-21页
     ·SnS_2薄膜的晶粒尺寸第21-23页
     ·SnS_2薄膜的表面形貌分析第23-25页
   ·薄膜的化学组成分析第25-32页
     ·X射线光电子能谱(XPS)原理简介第25-26页
     ·SnS_2薄膜XPS图第26-27页
     ·SnS_2:Zn(5wt%)薄膜表面XPS图第27-30页
     ·SnS_2:Zn(9wt%)薄膜表面XPS图第30-32页
   ·薄膜的光学特性第32-35页
     ·原理第32-33页
     ·SnS_2薄膜的光学特性第33-34页
     ·SnS_2:Zn(9wt%)薄膜的光学特性第34-35页
   ·薄膜的电学特性第35-37页
     ·半导体的导电机理第35页
     ·SnS_2薄膜电阻率的计算第35-37页
第四章 结论第37-38页
参考文献第38-41页
致谢第41-42页
攻读硕士学位期间发表和完成的学术论文第42页
硕士期间参加的科研课题第42页

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