| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-18页 |
| ·铁电材料研究进展 | 第9-12页 |
| ·PZT材料概述 | 第12-13页 |
| ·铁电存储器的发展 | 第13-16页 |
| ·本课题的主要内容及其意义 | 第16-18页 |
| 第2章 PZT的制备及铁电性能的测量方法 | 第18-24页 |
| ·PZT的制备方法 | 第18-21页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-20页 |
| ·磁控溅射法 | 第20页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法 | 第20-21页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第21页 |
| ·铁电性能的测量方法 | 第21-24页 |
| 第3章 退火工艺及薄膜厚度对PZT电容器性能的影响 | 第24-30页 |
| ·退火工艺对PZT电容器铁电性能的影响 | 第24-26页 |
| ·厚度对PZT电容器铁电性能的影响 | 第26-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第4章 LNO底电极生长温度对,PZT薄膜结构和性能的影响 | 第30-39页 |
| ·实验 | 第30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第5章 PZT铁电电容器与Si的集成研究 | 第39-47页 |
| ·实验过程 | 第39-41页 |
| ·结果与讨论 | 第41-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第6章 玻璃基Pt/PZT/ITO性能初探 | 第47-53页 |
| ·实验 | 第47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 结束语 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 硕士期间发表论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |