| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-48页 |
| ·引言 | 第13-16页 |
| ·MEMS简介 | 第13-15页 |
| ·Lab-on-chip的诞生 | 第15-16页 |
| ·微型反应器的发展和研究现状 | 第16-20页 |
| ·微反应器的主要优点 | 第16-18页 |
| ·微反应器的发展 | 第18-20页 |
| ·微反应器的制作方法简介 | 第20-23页 |
| ·陶瓷微反应器的研究进展 | 第23-30页 |
| ·陶瓷微结构加工技术 | 第24-28页 |
| ·陶瓷微反应器的研究现状 | 第28-30页 |
| ·乙醇水蒸气重整制氢 | 第30-40页 |
| ·氢气的制取 | 第31-33页 |
| ·乙醇水蒸气重整催化制氢研究进展 | 第33-40页 |
| ·本文完成的主要工作 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-48页 |
| 第二章 陶瓷微结构的制作研究 | 第48-74页 |
| ·陶瓷微结构的制作工艺流程 | 第49-50页 |
| ·PMMA模具的制作 | 第50-61页 |
| ·同步辐射X射线光刻 | 第50-52页 |
| ·掩模的制作工艺 | 第52-55页 |
| ·X射线深度光刻工艺 | 第55-58页 |
| ·塑铸技术来制作PMMA模具 | 第58-61页 |
| ·氧化铝陶瓷粉体以及黏合剂的选择 | 第61-65页 |
| ·黏合剂的选择 | 第61-62页 |
| ·陶瓷粉体颗粒大小对烧结的影响 | 第62-64页 |
| ·纳米氧化铝粉末的亲水、亲油性和黏合剂的亲水、亲油性对烧结的影响 | 第64-65页 |
| ·压模 | 第65-66页 |
| ·去模 | 第66-68页 |
| ·烧结 | 第68-69页 |
| ·烧结后的陶瓷微结构 | 第69-71页 |
| ·陶瓷微结构的封闭烧结方法 | 第71页 |
| ·陶瓷微管道的制作 | 第71-72页 |
| 本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |
| 第三章 陶瓷微反应器的设计与制作 | 第74-91页 |
| ·催化微管道模块的设计与制作 | 第76-82页 |
| ·微管道的设计 | 第76-81页 |
| ·陶瓷微管道模块的制作 | 第81-82页 |
| ·外围模块的设计与制作 | 第82-88页 |
| ·纯氧化铝陶瓷的外围模块的设计及加工 | 第82-85页 |
| ·不锈钢外围模块的设计及加工 | 第85-88页 |
| ·气密性实验 | 第88-89页 |
| 本章小结 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-91页 |
| 第四章 乙醇水气重整微反应的研究 | 第91-113页 |
| ·催化剂的制作 | 第92-97页 |
| ·传统浸渍法制作陶瓷微反应器的催化剂 | 第92-93页 |
| ·溅射法制作陶瓷微反应器的催化剂 | 第93-97页 |
| ·乙醇水气重整微反应实验 | 第97-100页 |
| ·实验结果和讨论 | 第100-108页 |
| ·Ni催化剂实验室结果 | 第100-105页 |
| ·Pt催化剂实验室结果 | 第105-108页 |
| ·积炭的研究 | 第108-109页 |
| ·展望 | 第109-110页 |
| 本章小结 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-113页 |
| 第五章 论文总结 | 第113-115页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第115-116页 |
| 附录 实验中使用的主要仪器规格型号 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117页 |