| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-31页 |
| ·微米机电系统(MEMS)的概况 | 第12-13页 |
| ·主要的微细加工技术概况 | 第13-18页 |
| ·光刻技术 | 第13-15页 |
| ·LIGA技术 | 第15页 |
| ·刻蚀技术 | 第15-16页 |
| ·薄膜制备技术 | 第16页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第16页 |
| ·电化学微加工技术 | 第16页 |
| ·快速光成型技术 | 第16-18页 |
| ·几种纳米加工方法 | 第18-19页 |
| ·SPM纳米加工技术 | 第18页 |
| ·化学自组装纳米加工 | 第18页 |
| ·聚焦离子束加工 | 第18-19页 |
| ·纳米压印技术 | 第19页 |
| ·激光微细加工技术的产生和发展概况 | 第19-21页 |
| ·飞秒激光器在超快过程研究中的应用 | 第21-22页 |
| ·飞秒激光双光子微加工技术的发展和研究现状 | 第22-26页 |
| ·飞秒激光双光子加工技术主要特点 | 第23页 |
| ·飞秒激光双光子微加工国内外研究现状 | 第23-26页 |
| ·飞秒激光热熔烧蚀微细加工 | 第26-27页 |
| ·飞秒激光纳米加工技术 | 第27-30页 |
| ·飞秒激光诱导材料表面产生纳米结构 | 第27-28页 |
| ·飞秒激光结合近场光学技术实现纳米加工 | 第28-30页 |
| ·论文课题来源及主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 飞秒激光微加工系统 | 第31-51页 |
| ·飞秒激光器概况 | 第31-40页 |
| ·脉冲激光器的产生、发展和应用 | 第32-35页 |
| ·脉冲激光锁模原理 | 第35-37页 |
| ·钛蓝宝石克尔透镜锁模 | 第37-39页 |
| ·群速色散的产生和补偿 | 第39-40页 |
| ·自行搭建的钛蓝宝石飞秒激光器 | 第40-46页 |
| ·钛蓝宝石飞秒激光器的搭建 | 第40-41页 |
| ·飞秒激光器输出性能测试 | 第41-44页 |
| ·飞秒激光器谐振腔锁模参数理论分析 | 第44-46页 |
| ·飞秒激光微加工系统组成 | 第46-51页 |
| ·飞秒激光光源和 BBO倍频光路 | 第47页 |
| ·光路传输部分 | 第47-48页 |
| ·实时监控系统 | 第48-49页 |
| ·系统软件控制和大范围步进电机三维移动平台 | 第49-51页 |
| 第3章 双光子微加工机理和工艺分析 | 第51-78页 |
| ·光化学基本原理 | 第51-53页 |
| ·材料激发态的产生 | 第51-52页 |
| ·光引发链式聚合反应 | 第52-53页 |
| ·双光子光聚合反应 | 第53-58页 |
| ·材料的非线性光学特性 | 第53-54页 |
| ·双光子光化学反应 | 第54-55页 |
| ·双光子光聚合反应 | 第55-56页 |
| ·双光子与单光子光化学反应的对比 | 第56-58页 |
| ·几种常用的双光子光聚合材料 | 第58-59页 |
| ·自由基引发剂型 | 第58-59页 |
| ·光酸引发剂型 | 第59页 |
| ·实验选用的几种双光子加工材料 | 第59-62页 |
| ·光敏负胶 | 第59-61页 |
| ·正性光刻胶 | 第61-62页 |
| ·飞秒激光双光子加工工艺分析 | 第62-78页 |
| ·自由基浓度理论模型建立 | 第62-63页 |
| ·固化单点分辨率工艺分析 | 第63-65页 |
| ·线形的加工工艺优化 | 第65-67页 |
| ·面型结构的加工工艺分析 | 第67-68页 |
| ·优化工艺参数提高加工表面粗糙度 | 第68-72页 |
| ·数学形态学方法优化三维微结构加工工艺 | 第72-75页 |
| ·连续可变步距扫描提高加工效率 | 第75-78页 |
| 第4章 飞秒激光双光子微加工三维功能微器件 | 第78-91页 |
| ·Log-Pile三维光子晶体的加工 | 第78-81页 |
| ·Log-Pile光子晶体的设计，工艺和制作 | 第78-80页 |
| ·Log-Pile光子晶体的测试 | 第80-81页 |
| ·微透镜阵列和微fresnel透镜的加工 | 第81-85页 |
| ·2×2微球透镜的加工 | 第82-83页 |
| ·微fresnel透镜的加工 | 第83-84页 |
| ·微透镜的光学性能测试 | 第84-85页 |
| ·光驱动微转子器件的加工 | 第85-87页 |
| ·激光双光子微加工结合微装配技术制作可动微齿轮组 | 第87-88页 |
| ·飞秒激光微加工技术应用于活体单细胞“手术”实验探索 | 第88-91页 |
| 第5章 飞秒激光与纳米光学元件 | 第91-108页 |
| ·纳米小孔光学元件原理和研究现状 | 第91-94页 |
| ·Bowtie纳米天线小孔的制作和近场光学测试 | 第94-100页 |
| ·纳米小孔探针近场光学显微镜 | 第94-97页 |
| ·纳米小孔探针的制作和测试 | 第97-99页 |
| ·近场光学显微镜测量bowtie纳米小孔 | 第99-100页 |
| ·结合力曲线进行纳米小孔的三维近场光学探测 | 第100-105页 |
| ·200nm方形小孔的不同高度层光强分布测量 | 第101-104页 |
| ·Bowtie纳米小孔的不同高度层光强分布测量 | 第104-105页 |
| ·飞秒激光结合bowtie纳米光学元件实现纳米加工的探索和展望 | 第105-108页 |
| 第6章 总结和展望 | 第108-111页 |
| ·论文的主要研究成果 | 第108页 |
| ·研究工作的创新之处 | 第108-109页 |
| ·论文的工作展望 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-118页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120页 |