| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·MEMS 研究现状分析 | 第11-13页 |
| ·MEMS 控制技术的研究现状 | 第13-14页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 机电集成静电谐波传动系统的动力学模型 | 第16-23页 |
| ·机电集成静电谐波传动系统工作原理 | 第16页 |
| ·机电集成静电谐波传动系统传递的力矩 | 第16-19页 |
| ·动力学模型的建立 | 第19-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 传动系统的PID 控制 | 第23-40页 |
| ·PID 控制规律 | 第23-24页 |
| ·系统PID 控制参数整定 | 第24-31页 |
| ·PID 控制系统参数整定方法 | 第24-25页 |
| ·机电集成静电谐波传动的PID 控制系统分析 | 第25-27页 |
| ·PID 控制系统参数整定 | 第27-28页 |
| ·整定结果分析 | 第28-31页 |
| ·PID 控制系统的参数优化 | 第31-35页 |
| ·系统寻优中的目标函数 | 第31-32页 |
| ·单纯形寻优方法 | 第32-33页 |
| ·机电集成静电谐波传动系统PID 控制器的参数优化 | 第33-35页 |
| ·计算机仿真 | 第35-39页 |
| ·仿真技术及Simulink | 第35-37页 |
| ·仿真模型的建立 | 第37页 |
| ·仿真结果 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 机电集成静电谐波传动的力矩波动与控制 | 第40-64页 |
| ·Rc 电路的充电和放电过程 | 第40-45页 |
| ·换路定则 | 第40-41页 |
| ·Rc 电路的充电过程 | 第41-43页 |
| ·Rc 电路的放电过程 | 第43-45页 |
| ·单相单极电场驱动下的传动系统 | 第45-50页 |
| ·电压变化过程 | 第46-47页 |
| ·单相单极电场下驱动力矩计算 | 第47-50页 |
| ·三相单极电场驱动下的传动系统 | 第50-53页 |
| ·一阶电路的全响应 | 第51-52页 |
| ·电压变化过程 | 第52页 |
| ·三相单极电场下总力矩计算 | 第52-53页 |
| ·电压分布与力矩波动 | 第53-58页 |
| ·电压分布 | 第53-55页 |
| ·柔轮上产生的力矩 | 第55-58页 |
| ·力矩波动的电压补偿 | 第58-60页 |
| ·结果分析及验证 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 传动系统非线性PID 控制 | 第64-83页 |
| ·经典PID 理论的局限性 | 第64页 |
| ·非线性PID 控制的基本理论 | 第64-73页 |
| ·非线性跟踪—微分器 | 第65-68页 |
| ·非线性PID 控制规律 | 第68-70页 |
| ·非线性PID 控制器 | 第70-72页 |
| ·非线性PID 控制的优点 | 第72-73页 |
| ·机电集成静电谐波传动的非线性PID 控制 | 第73-74页 |
| ·计算机仿真 | 第74-82页 |
| ·机电集成静电谐波传动非线性控制系统的仿真模型 | 第74-76页 |
| ·仿真结果及分析 | 第76-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 结论 | 第83-84页 |
| 附录 | 第84-88页 |
| 参考文献 | 第88-94页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 作者简介 | 第96页 |