| 中文摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 序 | 第9-13页 |
| 1 绪论 | 第13-26页 |
| ·引言 | 第13-17页 |
| ·真空度对真空开关工作特性的影响 | 第13-15页 |
| ·真空灭弧室真空度的变化与真空寿命 | 第15-17页 |
| ·真空灭弧室真空度离线测试和测量方法简介 | 第17-20页 |
| ·真空度测量技术简介 | 第17-18页 |
| ·真空灭弧室真空度的离线测试和测量方法 | 第18-20页 |
| ·真空开关真空度在线监测方法研究现状 | 第20-24页 |
| ·基于旋转式电场探头的屏蔽罩电位法 | 第22页 |
| ·光电变换法 | 第22页 |
| ·耦合电容法 | 第22-23页 |
| ·冷阴极磁控放电法 | 第23-24页 |
| ·本论文采用的方法、目的及主要工作 | 第24-26页 |
| ·本论文采取的方法和论文的目标 | 第24-25页 |
| ·论文主要工作 | 第25-26页 |
| 2 反磁控冷阴极电离真空规的理论基础 | 第26-59页 |
| ·冷阴极电离真空规概述 | 第26-30页 |
| ·气体放电基础 | 第30-38页 |
| ·气体放电全伏安特性 | 第30-33页 |
| ·汤生放电理论 | 第33-38页 |
| ·反磁控冷阴极真空规放电的理论分析 | 第38-54页 |
| ·反磁控冷阴极真空规的着火理论 | 第38-47页 |
| ·考虑空间电荷效应的反磁控稳态放电特性 | 第47-51页 |
| ·低气压下交叉电磁场放电的不稳定性 | 第51-54页 |
| ·高真空反磁控冷阴极放电的计算机模拟研究 | 第54-58页 |
| ·蒙特卡洛方法简介 | 第55页 |
| ·反磁控气体放电的蒙特卡罗模型的建立 | 第55-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 3 反磁控冷阴极电离真空规脉冲放电操作模式的实验研究 | 第59-86页 |
| ·反磁控冷阴极真空规的现有实验结论回顾 | 第59-65页 |
| ·放电电流-压强的特性曲线及其拐点 | 第61-62页 |
| ·点火特性 | 第62-63页 |
| ·出气和泵效应 | 第63-64页 |
| ·长期稳定性 | 第64页 |
| ·冷阴极真空规的脉冲放电操作模式 | 第64-65页 |
| ·反磁控冷阴极真空规管的设计 | 第65-73页 |
| ·交叉电磁场的理想配置 | 第65-67页 |
| ·电极材料的选择 | 第67-69页 |
| ·点火极的设置 | 第69-71页 |
| ·实用二极型反磁控规管的设计 | 第71-73页 |
| ·实验装置介绍 | 第73-77页 |
| ·真空系统 | 第73-74页 |
| ·被测规管 | 第74页 |
| ·脉冲高压产生、放电电流测量及控制电路部分 | 第74-76页 |
| ·上位计算机操作软件 | 第76-77页 |
| ·反磁控冷阴极真空规脉冲放电的实验结果及讨论 | 第77-86页 |
| ·被测压强和放电电流的关系曲线 | 第77-79页 |
| ·放电电流和放电空间长度的关系 | 第79-80页 |
| ·磁感应强度对放电电流的影响 | 第80-81页 |
| ·拓展被测压强下限的方法 | 第81-82页 |
| ·IMG操作电压的确定 | 第82-83页 |
| ·被测压强较高时的恒流测量方式 | 第83-84页 |
| ·小结 | 第84-86页 |
| 4 智能真空度传感器的设计 | 第86-94页 |
| ·放电部分-反磁控规管的设计 | 第86-91页 |
| ·真空灭弧室的基本结构 | 第86-87页 |
| ·真空度传感器放电部分的设计 | 第87-91页 |
| ·传感器的电路部分 | 第91-94页 |
| ·高压产生电路 | 第91-92页 |
| ·放电电流的程控放大电路 | 第92页 |
| ·无线通信接口电路 | 第92-93页 |
| ·传感器电池的选择 | 第93页 |
| ·抗干扰措施及绝缘 | 第93-94页 |
| 5 结论 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-99页 |
| 作者简历 | 第99-101页 |
| 学位论文数据集 | 第101页 |