| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·精密定位技术发展概况 | 第11-13页 |
| ·微定位系统的分类及特点 | 第13-15页 |
| ·压电陶瓷微位移器的模型及控制技术的研究现状 | 第15-18页 |
| ·本文的主要工作及创新 | 第18-21页 |
| 2 压电陶瓷微位移器的基本特性与典型模型 | 第21-44页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·压电陶瓷微位移器基本理论 | 第21-27页 |
| ·压电陶瓷微位移器的基本特性 | 第27-32页 |
| ·压电陶瓷微位移器的非线性特征及其形成机理 | 第32-34页 |
| ·压电陶瓷微位移器的几类典型模型 | 第34-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 压电陶瓷微定位系统的柔性驱动平台 | 第44-53页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·柔性平台的结构 | 第44-47页 |
| ·柔性平台的力学模型 | 第47-49页 |
| ·柔性平台刚度的理论计算 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 4 基于泛布尔代数理论的逻辑规则控制 | 第53-77页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·逻辑控制产生的背景 | 第53-56页 |
| ·逻辑控制与泛布尔代数理论 | 第56-61页 |
| ·逻辑控制机理 | 第61-65页 |
| ·运动控制系统的逻辑控制 | 第65-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 5 压电陶瓷微定位系统的逻辑规则控制的仿真研究 | 第77-94页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·压电陶瓷微定位系统的传递特性 | 第77-80页 |
| ·基于偏差相平面的压电陶瓷微定位系统逻辑规则控制的仿真研究 | 第80-87页 |
| ·基于偏差相空间的压电陶瓷微定位系统逻辑规则控制的仿真研究 | 第87-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 6 压电陶瓷微定位系统的实验研究 | 第94-115页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·压电陶瓷微定位系统的总体构成 | 第94-95页 |
| ·实验系统组成单元的设计与选取 | 第95-107页 |
| ·压电陶瓷微定位系统的实验研究及分析 | 第107-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 7 非探针红外近场光学显微镜的成像测量与实验结果 | 第115-129页 |
| ·引言 | 第115-116页 |
| ·编码板与掩膜板 | 第116-117页 |
| ·微动工作台的研制 | 第117-123页 |
| ·非探针红外近场光学显微成像系统测量实验 | 第123-128页 |
| ·本章小结 | 第128-129页 |
| 8 全文总结与展望 | 第129-131页 |
| ·全文总结 | 第129-130页 |
| ·研究展望 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-141页 |
| 附录1 攻读博士学位期间作者发表学术论文 | 第141-143页 |
| 附图1 研制的压电陶瓷微位移器的驱动电源 | 第143页 |
| 附图2 压电陶瓷微定位控制系统的实验系统图 | 第143-144页 |
| 附图3 非探针红外近场光学显微成像系统图 | 第144页 |