| 提要 | 第1-6页 |
| 第一章 前言 | 第6-9页 |
| ·论文的研究背景 | 第6-7页 |
| ·本论文的主要工作 | 第7-9页 |
| 第二章 半导体光电探测器的结构和工作原理 | 第9-26页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·半导体光电探测器结构的基本类型 | 第10-14页 |
| ·探测器的工作原理及主要参数 | 第14-21页 |
| ·MSM 型光电导探测器的结构和工作原理 | 第21-26页 |
| 第三章 TiO_2薄膜的制备与表征 | 第26-39页 |
| ·TiO_2 薄膜的晶体结构 | 第26-29页 |
| ·纳米TiO_2 的制备方法 | 第29-31页 |
| ·TiO_2 溶胶的制备 | 第31-35页 |
| ·薄膜的表征 | 第35-39页 |
| 第四章 器件的制作与性能测试 | 第39-54页 |
| ·探测器的制作 | 第39-50页 |
| ·器件性能测试 | 第50-54页 |
| 第五章 结论 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 摘要 | 第60-63页 |
| ABSTRACT | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66页 |