MEMS可编程光栅及其在气体监测中的应用研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·衍射光栅发展概述 | 第8-9页 |
| ·基于 MEMS的微型可编程光栅 | 第9-10页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的国内外发展现状 | 第10-14页 |
| ·基于光学和光谱学的气体监测技术 | 第14-17页 |
| ·气体监测的现实意义 | 第14页 |
| ·气体监测的基本方法与现状 | 第14-15页 |
| ·MEMS微型可编程光栅与相关光谱法 | 第15-17页 |
| ·本文研究目的与研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 MEMS微型可编程光栅光学理论特性分析 | 第19-32页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的工作原理 | 第19-21页 |
| ·MEMS微型可编程光栅的衍射分析 | 第21-31页 |
| ·传统平面反射式衍射光栅的衍射定律 | 第21-23页 |
| ·用波动光学理论分析微型可编程光栅的衍射 | 第23-27页 |
| ·几何光学光程差理论分析可编程光栅的衍射 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 可编程光栅基本光学特性仿真 | 第32-48页 |
| ·光栅基本特性及参数 | 第32-34页 |
| ·光栅结构参数对其光学特性的影响 | 第34-43页 |
| ·相邻高度差对不同衍射级次相对光强的影响 | 第35-38页 |
| ·衍射单元数对色散及色分辨的影响 | 第38-40页 |
| ·光栅周期对衍射角的影响 | 第40-42页 |
| ·梁间隙对相对光强与衍射角的影响 | 第42-43页 |
| ·入射参数对其光学特性的影响 | 第43-47页 |
| ·入射光波长对半角宽度的影响 | 第43-44页 |
| ·入射角对衍射角的影响 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 可编程光栅的光谱模拟特性 | 第48-55页 |
| ·微型可编程光栅结构与衍射原理 | 第48-49页 |
| ·微型可编程光栅“可编程”的定义 | 第48-49页 |
| ·微型可编程光栅光谱模拟特性 | 第49-53页 |
| ·“完全编程”时可编程光栅衍射光强公式 | 第49-50页 |
| ·可编程光栅实现特征光谱模拟的原理 | 第50页 |
| ·实现特征光谱模拟的方法 | 第50-52页 |
| ·光谱模拟仿真 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 可编程光栅在气体遥监测技术中的应用研究 | 第55-68页 |
| ·基于光谱学的遥测原理 | 第55-56页 |
| ·常用的光谱吸收式气体遥监测方法 | 第56-61页 |
| ·傅氏变换红外光谱吸收技术(FTIR) | 第56-58页 |
| ·差分光学吸收光谱技术(DOAS) | 第58-60页 |
| ·激光长程吸收 | 第60-61页 |
| ·相关光谱技术 | 第61-65页 |
| ·相关检测原理 | 第62-63页 |
| ·相关光谱气体遥监测技术 | 第63-65页 |
| ·微型可编程光栅在相关光谱技术中的应用 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 总结 | 第68页 |
| 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
