| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·微机电系统发展状况 | 第7-9页 |
| ·MEMS 动态测试技术 | 第9-12页 |
| ·数字散斑相关方法的研究现状和发展趋势 | 第12-14页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第14-15页 |
| 第二章 数字散斑相关测量方法的研究 | 第15-33页 |
| ·数字散斑相关测量方法原理 | 第15-19页 |
| ·表征物体的面内变形 | 第16-17页 |
| ·相关系数 | 第17-19页 |
| ·数字散斑相关方法原理 | 第19-26页 |
| ·十字搜索方法原理 | 第21-23页 |
| ·梯度法原理 | 第23-24页 |
| ·Newton-Raphson 迭代法原理 | 第24-25页 |
| ·改进的初值确定法 | 第25-26页 |
| ·数字散斑相关方法的迭代过程 | 第26-27页 |
| ·利用插值法重建连续图像 | 第27-31页 |
| ·双线性插值 | 第28页 |
| ·二元三次样条插值 | 第28-31页 |
| ·位移和应变的计算 | 第31-33页 |
| 第三章 融合频闪成像技术的MEMS 平面运动测试系统 | 第33-38页 |
| ·数字散斑相关实验运算系统 | 第33-34页 |
| ·结合频闪成像和数字散斑相关技术测试MEMS 平面运动的原理 | 第34-36页 |
| ·MEMS 平面运动测试系统 | 第36-38页 |
| 第四章 数字散斑相关测量方法的精度分析和实验研究 | 第38-49页 |
| ·MEMS 平面运动测试 | 第38-45页 |
| ·Si 微谐振器刚性位移的测试 | 第38-40页 |
| ·SiC 微谐振器刚性位移和区域变形的测试 | 第40-45页 |
| ·系统误差分析 | 第45-49页 |
| ·相关运算误差来源 | 第45-46页 |
| ·系统误差分析研究 | 第46-47页 |
| ·环境引起的随机误差的研究 | 第47-49页 |
| 第五章 总结与展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及参与的科研项目 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |