| 第一章 绪论 | 第1-21页 |
| ·MEMS 概述 | 第11-16页 |
| ·低速走丝电火花线切割加工技术的现状 | 第16-17页 |
| ·低速走丝电火花线切割加工技术用于MEMS 器件制造的可行性分析 | 第17-19页 |
| ·本论文课题研究的目的、意义和任务安排 | 第19-21页 |
| 第二章 低速走丝电火花线切割加工 | 第21-34页 |
| ·低速电火花线切割加工的基本原理和技术特点 | 第21-23页 |
| ·低速走丝电火花线切割加工的基本工艺规律及应用 | 第23-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 试验基础设备AGIECUT CHALLENGE 简介 | 第34-48页 |
| ·AGIECUT CHALLENGE ECUT 2F 机床及组成 | 第34-35页 |
| ·AGIECUT CHALLENGE ECUT 2F 机床的主要技术参数 | 第35-36页 |
| ·AGIECUT CHALLENGE ECUT ECUT 2F 机床的主要功能及功能模块 | 第36-37页 |
| ·AGIECUT CHALLENGE ECUT 2F 机床的特色和优势 | 第37-41页 |
| ·AGIECUT CHALLENGE ECUT 2F 机床几何精度、数控精度和工作精度检测 | 第41-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 ESPRIT 软件及在精密电火花线切割加工中的应用 | 第48-54页 |
| ·ESPRIT 软件简介 | 第48-49页 |
| ·ESPRIT 软件功能 | 第49-50页 |
| ·ESPRIT 与AGIECUT CHALLENGE ECUT 2F 机床PIECEDITOR 界面的配合使用技巧 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 低速走丝电火花线切割加工基础实验 | 第54-70页 |
| ·低速走丝电火花线切割微细加工的主要工艺要求 | 第54页 |
| ·电火花线切割微细加工基础实验 | 第54-57页 |
| ·变截面切割及上下异型切割的试验 | 第57-62页 |
| ·典型零件的加工 | 第62-68页 |
| ·常见电极丝断丝的原因分析及解决办法 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 结合电火花成形的加工技术的微细加工试验 | 第70-80页 |
| ·微细电火花成形加工简介 | 第70页 |
| ·微流量计的结构原理与设计 | 第70-76页 |
| ·用于交错展成电火花成形加工微齿轮 | 第76-79页 |
| ·总结 | 第79-80页 |
| 第七章 结论及展望 | 第80-82页 |
| ·结论 | 第80页 |
| ·对今后研究工作的展望 | 第80-82页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-86页 |
