| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 AF／PSTM系统简介 | 第9-20页 |
| ·AFM原理 | 第9-10页 |
| ·PSTM的物理机制和隧道信息 | 第10-11页 |
| ·第一代PSTM及其存在的问题 | 第11-12页 |
| ·AF／PSTM的消假象原理以及图象分解 | 第12-15页 |
| ·原子力与光子扫描隧道组合显微镜(AF／PSTM)的结构简介 | 第15-18页 |
| ·主机系统介绍 | 第16-17页 |
| ·光纤探针的安装 | 第17-18页 |
| ·AF／PSTM折射率图象为相对值的实例说明 | 第18-20页 |
| 2.表面等离子激元共振技术介绍 | 第20-35页 |
| ·表面等离子激元共振原理介绍 | 第20-30页 |
| ·表面等离子激元的概念 | 第20页 |
| ·表面等离子激元的色散曲线 | 第20-24页 |
| ·关于偏振光的要求 | 第24-25页 |
| ·电磁波入射单层膜的反射率 | 第25-26页 |
| ·全内反射 | 第26-27页 |
| ·衰减全内反射 | 第27页 |
| ·表面等离子激元共振 | 第27-30页 |
| ·表面等离子激元共振技术的应用介绍 | 第30-35页 |
| ·SPR传感器 | 第30-32页 |
| ·SPR应用于近场扫描光学显微技术 | 第32-33页 |
| ·薄膜光学和膜厚测量 | 第33页 |
| ·精密角度测量 | 第33-35页 |
| 3.银膜介电常数的测量 | 第35-45页 |
| ·实验原理 | 第35-37页 |
| ·实验装置 | 第37-38页 |
| ·实验过程 | 第38-41页 |
| ·光路调节 | 第38-39页 |
| ·角度微调的实现 | 第39-40页 |
| ·样品的制备即蒸镀银膜 | 第40-41页 |
| ·光纤尖安装及光信号的接入 | 第41页 |
| ·实验结果及误差分析 | 第41-45页 |
| ·实验结果 | 第41-42页 |
| ·误差分析 | 第42-43页 |
| ·消除误差的初步考虑 | 第43-45页 |
| 4 结论与展望 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第50页 |