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基于纳米压痕仪的薄膜力学性能纳米测试与表征研究

第一章 绪论第1-31页
   ·选题的意义第11-12页
     ·工业应用价值第11页
     ·科学研究价值第11-12页
   ·纳米测试技术的国内外研究现状第12-28页
     ·纳米压痕连续刚度测试技术国内外研究现状第12-14页
     ·实验技术第14-21页
     ·AFM和STM的原理和在纳米测试中的应用第21-28页
   ·薄膜纳米力学性能的纳米测试与表征存在的问题第28-29页
   ·本文的主要研究工作第29-31页
第二章 薄膜力学性能的纳米测试与表征研究第31-52页
   ·骨质抗菌陶瓷膜的纳米力学性能实验第31-44页
     ·研究背景第31页
     ·样品的制备第31-32页
     ·普通陶瓷和骨质抗菌陶瓷膜的显微结构与纳米力学性能研究第32-36页
     ·含3%和5%稀土复合磷酸盐的骨质抗菌陶瓷膜的显微结构与纳米力学性能研究第36-44页
   ·纳米孔及基底对AAO膜纳米力学性能的研究第44-50页
     ·研究背景第44-45页
     ·实验第45页
     ·结果与讨论第45-50页
   ·小结第50-52页
     ·骨质抗菌陶瓷膜第50-51页
     ·AAO膜第51-52页
第三章 纳米表征仪器的故障诊断及设计研究第52-62页
   ·STM和AFM的基本原理第52-53页
   ·基于CAD的实体建模技术第53-54页
     ·实体建模技术第53页
     ·Solidworks软件简介第53-54页
   ·CAD技术的显微镜失效分析第54-57页
     ·显微镜的机电传动失效分析第54页
     ·显微镜的机电装置工作原理第54-55页
     ·显微镜机电装置失效仿真及故障诊断第55-56页
     ·实验验证第56页
     ·改进方法第56-57页
   ·基于CAD技术的SPM的一种过载保护装置研究第57-58页
     ·过载保护装置的设计方法比较第57页
     ·过载保护装置的CAD设计第57-58页
   ·基于CAD的一种新型偏心升降装置研究第58-61页
     ·一种新型偏心升降装置的设计第58-59页
     ·使用CAM技术对装置进行仿真研究第59-61页
   ·小结第61-62页
第四章 基于小波变换的纳米测试图像处理的研究第62-75页
   ·小波变换的基本原理第62-63页
     ·图像的多分辨分解与重构算法第62-63页
   ·小波变换在纳米测试图像处理中的应用第63-73页
     ·基于小波变换的Nanoindenter图像处理的研究第63-66页
     ·小波变换在STM图像处理中的应用第66-69页
     ·小波变换应用于其它科技工作者纳米测试图像处理的研究第69-73页
   ·小结第73-75页
第五章 基于椭圆柔性铰链的纳米加载仪器的优化设计及力学分析第75-102页
   ·椭圆柔性铰链线挠度和转动刚度的推导第75-84页
     ·椭圆柔性铰链转动刚度的推导第75-79页
     ·椭圆柔性铰链沿Y轴方向的转动刚度第79-80页
     ·椭圆柔性铰链沿X轴方向的挠度第80-81页
     ·有限元分析第81-84页
   ·平行四杆和八杆机构的理论分析第84-91页
     ·单柔性平行四杆结构位移分析及力学模型第84-86页
     ·双柔性平行四杆机构(八杆结构)的位移分析与力学模型第86-91页
   ·纳米加载仪器的设计及其力学性能分析第91-100页
     ·双柔性平行四杆结构第91-94页
     ·平行两杆结构纳米加载仪器第94-95页
     ·平板纳米加载仪器第95-98页
     ·平板纳米拉伸仪器第98页
     ·微型纳米拉伸仪第98-100页
     ·四个椭圆柔性铰链纳米拉伸仪第100页
   ·小结第100-102页
第六章 纳米拉伸/压缩仪器的研制及其实验研究第102-119页
   ·压电陶瓷简介第102-103页
   ·纳米加载仪器的研制第103-104页
   ·纳米加载仪器的设计及其实验研究第104-118页
     ·实验样品第104-106页
     ·纳米压缩仪器第106-112页
     ·纳米拉伸仪器第112-118页
   ·小结第118-119页
第七章 纳米测试定位平台的设计及其有限元模拟第119-142页
   ·纳米定位平台的理论分析第119-136页
     ·纳米定位平台的运动分析第119-130页
     ·基于并联微动机构6-PUU所设计的纳米定位平台性能分析第130-136页
   ·纳米测试定位平台的设计及其有限元模拟第136-140页
   ·小结第140-142页
第八章 总结与展望第142-146页
   ·总结第142-144页
   ·不足与展望第144-146页
参考文献第146-155页
发表论文和科研情况说明第155-157页
致谢第157页

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