低温低压氢等离子体光谱诊断
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1．1 等离子体内部特性的表征 | 第8-9页 |
| 1．2 等离子体诊断方法简介 | 第9-10页 |
| 1．3 等离子体的应用 | 第10页 |
| 1．4 本文的研究意义 | 第10-12页 |
| 参考文献 | 第12-13页 |
| 第二章 原子光谱概述 | 第13-20页 |
| 2．1 谱线的产生 | 第13页 |
| 2．1．1 碰撞与激发 | 第13页 |
| 2．1．2 激发态原子的辐射 | 第13页 |
| 2．2 谱线的波长和强度 | 第13-15页 |
| 2．3 谱线的宽度和轮廓 | 第15-19页 |
| 参考文献 | 第19-20页 |
| 第三章 螺旋波等离子体简介 | 第20-29页 |
| 3．1 螺旋波等离子体的产生 | 第20-21页 |
| 3．2 螺旋波的色散关系 | 第21页 |
| 3．3 能量沉积机制 | 第21-26页 |
| 3．3．1 朗道阻尼 | 第22-26页 |
| 3．3．2 其他解释 | 第26页 |
| 3．4 小结 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第四章 实验装置 | 第29-41页 |
| 4．1 装置概述 | 第30-39页 |
| 4．1．1 数据采集卡 | 第31-37页 |
| 4．1．2 准直光路、光谱仪以及光电倍增管 | 第37-38页 |
| 4．1．3 采集流程 | 第38-39页 |
| 4．2 仪器的维护和干扰分析 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 第五章 数据分析和讨论 | 第41-55页 |
| 5．1 电子温度计算的二谱线法 | 第41-42页 |
| 5．2 电子数密度计算的Stark展宽法 | 第42-44页 |
| 5．3 结果与分析 | 第44-51页 |
| 5．3．1 Te，Ne/C及峰强随射频功率的变化 | 第45-46页 |
| 5．3．2 Te，Ne/C及峰强随氢气流量的变化 | 第46-47页 |
| 5．3．3 Te，Ne/C及峰强随充气压强的变化 | 第47-49页 |
| 5．3．4 Hα的Gauss拟合 | 第49-50页 |
| 5．3．5 关于离子动力学效应 | 第50-51页 |
| 5．4 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 第六章 全文总结 | 第55-57页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 声明 | 第60页 |
