| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·激光干涉仪测量的基本原理 | 第9-11页 |
| ·光的多普勒效应 | 第9-10页 |
| ·基于多普勒效应的激光位移测量干涉仪 | 第10-11页 |
| ·Agilent 5529A 激光动态干涉仪测量尺寸(位移)的原理 | 第11-13页 |
| ·双光路激光干涉测长仪及其应用 | 第13-14页 |
| ·课题的内容及任务 | 第14-15页 |
| 第二章 工作原理 | 第15-19页 |
| ·双光路激光干涉测长仪光路的原理 | 第15-16页 |
| ·阿贝误差的补偿 | 第16-19页 |
| 第三章 光学器件的设计 | 第19-27页 |
| ·新型双光路激光干涉测长仪采用的光学器件 | 第19页 |
| ·光学器件的规格和技术指标 | 第19-20页 |
| ·光学器件的加工或安装误差给测量带来的影响 | 第20-27页 |
| 第四章 双光路激光干涉测长仪的机械结构 | 第27-32页 |
| ·分光镜组件 | 第27-29页 |
| ·测头组件的组成 | 第29-30页 |
| ·双光路激光干涉测长仪的光路调试 | 第30-32页 |
| 第五章 测量触发电路 | 第32-40页 |
| ·激光干涉仪的触发方式 | 第32页 |
| ·三坐标机的触发方式 | 第32-34页 |
| ·电触发原理及主要元器件 | 第34-40页 |
| 第六章 测量实验与误差分析 | 第40-48页 |
| ·与三坐标机进行比对 | 第40-41页 |
| ·测量实验 | 第41-42页 |
| ·误差分析 | 第42-48页 |
| 论文总结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 攻读硕士学位期间完成的学术论文 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |