硅基微波MEMS移相器的优化设计与性能分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·微机电系统概述 | 第9-11页 |
| ·MEMS基本概念和特点 | 第9-10页 |
| ·微机械加工技术 | 第10页 |
| ·射频／微波MEMS技术 | 第10-11页 |
| ·微波移相器 | 第11-19页 |
| ·微波移相器的基本概念 | 第11-13页 |
| ·微波移相器的应用 | 第13-14页 |
| ·微波MEMS移相器 | 第14-19页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 微波移相器的理论基础 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·微波理论基础 | 第21-28页 |
| ·微波传输线 | 第21-26页 |
| ·两端口微波网络 | 第26-28页 |
| ·微波移相器的基本原理 | 第28-31页 |
| ·开关线型移相器 | 第29页 |
| ·反射型移相器 | 第29-30页 |
| ·加载线型移相器 | 第30-31页 |
| ·微波移相器的关键元件 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 分布式MEMS移相器的分析设计 | 第33-50页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·分布式MEMS移相器的工作原理 | 第33-34页 |
| ·分布式MEMS移相器的主要参数 | 第34-47页 |
| ·电容比率和相移量 | 第34-36页 |
| ·Bragg频率 | 第36-41页 |
| ·偏置电压与下拉电压 | 第41-47页 |
| ·分布式MEMS移相器的设计 | 第47-49页 |
| ·衬底和MEMS桥的选材 | 第47-48页 |
| ·CPW阻抗匹配设计 | 第48页 |
| ·移相器尺寸设计 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 分布式MEMS移相器的制备测试 | 第50-62页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·MEMS移相器的制备 | 第50-54页 |
| ·工艺流程 | 第50-51页 |
| ·工艺探讨 | 第51-52页 |
| ·试验所得到的样品图片 | 第52-54页 |
| ·测试结果分析 | 第54-61页 |
| ·反射系数和插入损耗 | 第54-56页 |
| ·下拉电压和开启电压 | 第56-57页 |
| ·相移量 | 第57-60页 |
| ·可靠性试验与分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 开关线型MEMS移相器中接触式开关的研制 | 第62-71页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·开关线型MEMS移相器 | 第62-63页 |
| ·接触式MEMS开关的设计 | 第63-66页 |
| ·下拉电压 | 第64-65页 |
| ·剩余应力对下拉电压的影响 | 第65-66页 |
| ·S参数的模拟仿真 | 第66-67页 |
| ·接触式MEMS开关的制备 | 第67-69页 |
| ·接触式MEMS开关的测试结果 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 个人简历 | 第76-77页 |
| 在读期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
