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电容式微机械静电伺服加速度计系统分析

第一章 引言第1-14页
 1.1 概述第9-10页
 1.2 国内外发展动态第10-12页
 1.3 立题依据和研究内容第12-14页
第二章 加速度计原理及模型第14-24页
 2.1 工作原理第14-15页
 2.2 静态模型第15-19页
 2.3 动态模型第19-21页
 2.4 电模拟模型第21-23页
 2.5 小结第23-24页
第三章 加速度计系统静态分析第24-46页
 3.1 静电反馈原理第24-29页
 3.2 机械稳定性分析第29-36页
 3.3 最大量程设计分析第36-44页
 3.4 小结第44-46页
第四章 加速度计系统动态分析第46-63页
 4.1 二阶连续时间系统分析第46-49页
 4.2 加速度计的动态特性第49-51页
 4.3 闭环伺服系统的动态特性第51-54页
 4.4 仿真第54-61页
 4.5 小结第61-63页
第五章 结论第63-65页
主要符号表第65-69页
参考文献第69-72页
致谢第72-73页
附录第73-82页
个人简历第82页

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