光盘检测技术研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-11页
·引言	第7页
·表面粗糙度测量的研究现状和发展趋势	第7-10页
·课题研究的目的、意义和内容	第10-11页
第二章 表面粗糙度测量原理综述	第11-19页
·表面粗糙度的定义及相关参数论述	第11-14页
·表面粗糙度测量方法分析	第14-18页
·现有测量方法存在的问题	第18-19页
第三章 测量光盘表面粗糙度的光学原理研究	第19-29页
·测量表面粗糙度的光散射理论	第19-21页
·散射光强度与表面粗糙度的定性关系	第21-22页
·光散射强度和粗糙度测量的定量关系	第22-25页
·光散射光学特征值的建立	第25-29页
第四章 光盘表面粗糙度在线测量系统的设计	第29-58页
·仪器总体结构设计	第29-30页
·光学系统的设计	第30-40页
·光电探测器的选择及应用	第40-46页
·分光镜、透镜及夹具结构的设计	第46-49页
·PSD跟踪定位技术	第49-58页
第五章 系统误差分析	第58-63页
·降低光源引起的误差	第58-59页
·PSD器件的误差分析	第59-62页
·电路系统误差	第62页
·防止被测表面污染的影响	第62页
·降低制造与装配的误差	第62-63页
第六章 总结和展望	第63-65页
·总结	第63-64页
·展望	第64-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-67页