电子微束分析中粗糙样品表面形貌的蒙特卡洛方法模拟研究的模拟研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-26页
·电子微束分析简介	第9-15页
·扫描电子显微镜的结构与成像原理	第9-10页
·CDSEM 简介及在纳米线宽测量中的应用	第10-12页
·粗糙表面研究现状及电子谱应用于粗糙表面的研究	第12-14页
·计算物理与蒙特卡洛方法	第14-15页
·电子散射模型	第15-19页
·弹性散射截面	第17-18页
·非弹性散射截面	第18-19页
·Monte Carlo 方法原理	第19-20页
·模型与抽样方法	第20页
·3D 复杂构造体的构造模型	第20-23页
·体构造法与求交算法	第21页
·有限元三角形网络法	第21-22页
·空间分割和直线步进	第22-23页
·梯形线几何结构模型的构造	第23-24页
·粗糙表面结构的构建	第24-26页
第2章 CDSEM的纳米线宽测量初步研究	第26-30页
·影响CDSEM 纳米线宽测量的几个因素	第26页
·一些计算结果的讨论	第26-29页
·总结	第29-30页
第3章 粗糙表面相关电子谱的分析	第30-47页
·绪论	第30页
·粗糙表面的能谱分析	第30-32页
·粗糙表面的二次电子产额分析	第32-39页
·粗糙表面的背散射电子产额分析	第39-43页
·总结	第43-47页
参考文献	第47-53页
攻读硕士学位期间发表论文与学术会议	第53-54页
致谢	第54页