摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
引言 | 第8-9页 |
1 显微镜概述 | 第9-15页 |
·光学显微镜 | 第9-10页 |
·电子显微镜 | 第10页 |
·扫描探针显微镜 | 第10-15页 |
·扫描隧道显微镜 | 第11-12页 |
·原子力显微镜 | 第12-13页 |
·扫描近场光学显微镜 | 第13-15页 |
2 原子力显微镜 | 第15-21页 |
·原子力显微镜的工作原理 | 第15-16页 |
·原子力显微镜的扫描模式 | 第16页 |
·原子力显微镜的工作模式 | 第16-18页 |
·接触模式(Contact Mode) | 第17页 |
·非接触模式(Non-contact Mode) | 第17-18页 |
·轻敲模式(AC Mode or Tapping Mode) | 第18页 |
·原子力显微镜的力曲线 | 第18-20页 |
·原子力显微镜的优点和缺点 | 第20-21页 |
3 原子力图像的假像 | 第21-42页 |
·压电陶瓷扫描头的非线性 | 第21-30页 |
·非线性的分类 | 第22-27页 |
·非线性对图像的影响实例 | 第27-29页 |
·解决方案 | 第29-30页 |
·针尖形貌 | 第30-34页 |
·针尖展宽的原理 | 第30-32页 |
·针尖形貌主宰图像特征的实例 | 第32-34页 |
·识别针尖假象的方法 | 第34页 |
·噪音 | 第34-37页 |
·振动噪音 | 第35-36页 |
·电子噪音 | 第36-37页 |
·解决方案 | 第37页 |
·扫描参数的设置及图像处理方法 | 第37-42页 |
·反馈系数的设置 | 第37-38页 |
·扫描速度的设置 | 第38-40页 |
·图像平滑处理 | 第40-42页 |
4 光的干涉假像 | 第42-50页 |
·假像产生机理 | 第42-43页 |
·实验 | 第43页 |
·结果与讨论 | 第43-48页 |
·Ge_2Sb_2Te_5薄膜 | 第43-45页 |
·平面镜 | 第45-47页 |
·两个点源的干涉模型 | 第47-48页 |
·结论 | 第48-50页 |
结论 | 第50-51页 |
参考文献 | 第51-54页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
致谢 | 第55-56页 |