Cz法晶体生长中温度场分布的有限元分析
摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第7-15页 |
·ND:GGG的性能 | 第7-9页 |
·ND:GGG光学晶体的应用 | 第9-10页 |
·ND:GGG光学晶体生长法的选择 | 第10页 |
·提拉法 | 第10-11页 |
·有限元法简述 | 第11-12页 |
·CZ法晶体生长数值模拟研究进展 | 第12-13页 |
·本文主要研究目的、内容和意义 | 第13-15页 |
第二章 CZ法生长ND:GGG晶体 | 第15-26页 |
·概述 | 第15页 |
·设备装置 | 第15-16页 |
·晶体生长工艺参数 | 第16页 |
·提拉法生长ND:GGG晶体 | 第16-18页 |
·ND:GGG晶体生长中挥发物质的分析 | 第18页 |
·ND:GGG晶体缺陷分析 | 第18-26页 |
第三章 有限单元法及其通用计算机程序 | 第26-33页 |
·概述 | 第26页 |
·有限元法要点及特性 | 第26-28页 |
·有限元分析过程 | 第28-29页 |
·有限元分析程序 | 第29-33页 |
第四章 CZ法生长ND:GGG晶体的数值模拟 | 第33-45页 |
·数学模型描述 | 第33-34页 |
·有限元模型的建立 | 第34-36页 |
·温度场数值模拟 | 第36-39页 |
·流场数值模拟 | 第39-45页 |
第五章 有限元分析结果与讨论 | 第45-49页 |
·3D分析结果 | 第45-46页 |
·2D模拟与结果 | 第46-48页 |
·生长前期的模拟运算 | 第48页 |
·生长中期的模拟运算 | 第48-49页 |
结论 | 第49-50页 |
参考文献 | 第50-52页 |
致谢 | 第52页 |