| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-39页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·硬质薄膜气相沉积技术 | 第14-18页 |
| ·硬质薄膜气相沉积技术的发展 | 第14-16页 |
| ·磁控溅射基本原理及发展 | 第16-18页 |
| ·硬质薄膜的研究现状 | 第18-23页 |
| ·硬质薄膜材料 | 第18-19页 |
| ·硬质薄膜的发展 | 第19-21页 |
| ·金属氮化物硬质薄膜研究现状 | 第21-22页 |
| ·CrAlN 薄膜研究进展 | 第22-23页 |
| ·溅射薄膜微结构的研究 | 第23-26页 |
| ·薄膜性能的研究 | 第26-29页 |
| ·膜基结合强度 | 第26-27页 |
| ·薄膜硬度与抗磨性 | 第27-28页 |
| ·断裂韧性 | 第28-29页 |
| ·本课题的提出及主要研究内容 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-39页 |
| 第二章CrAlN 薄膜组织结构和力学性能的研究 | 第39-58页 |
| ·前言 | 第39页 |
| ·试验材料及试验方法 | 第39-42页 |
| ·试验材料 | 第39-40页 |
| ·试验方法 | 第40-41页 |
| ·表征方法 | 第41-42页 |
| ·试验结果与分析 | 第42-53页 |
| ·CrAlN 薄膜的组织结构 | 第42-45页 |
| ·CrAlN 薄膜相结构及择优取向 | 第45-48页 |
| ·CrAlN 薄膜的硬度 | 第48-49页 |
| ·CrAlN 薄膜与H13 钢基体的结合性能 | 第49-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 第三章CrAlN 薄膜抗多次冲击性能研究 | 第58-72页 |
| ·前言 | 第58页 |
| ·试验设备与方法 | 第58-60页 |
| ·试验方法 | 第58-59页 |
| ·表征方法 | 第59-60页 |
| ·试验结果与分析 | 第60-68页 |
| ·偏压对CrAlN 薄膜性能的影响 | 第60-64页 |
| ·偏压对CrAlN 薄膜抗冲击性能的影响 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 第四章CrAlN 薄膜高温抗氧化性和耐腐蚀性的研究 | 第72-85页 |
| ·前言 | 第72-73页 |
| ·试验设备与方法 | 第73-74页 |
| ·试验方法 | 第73页 |
| ·表征方法 | 第73-74页 |
| ·试验结果与分析 | 第74-82页 |
| ·CrAlN 薄膜的成分及相结构分析 | 第74-75页 |
| ·CrAlN 薄膜的高温抗氧化性研究 | 第75-79页 |
| ·CrAlN 薄膜的耐腐蚀性研究 | 第79-82页 |
| ·结论 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 第五章CrAlN 薄膜磨损性能的研究 | 第85-100页 |
| ·前言 | 第85页 |
| ·试验设备与方法 | 第85-86页 |
| ·试验方法 | 第85-86页 |
| ·表征方法 | 第86页 |
| ·试验结果与分析 | 第86-96页 |
| ·CrN 薄膜与CrAlN 薄膜室温磨损性能 | 第86-91页 |
| ·CrAlN 薄膜高温磨损性能的研究 | 第91-96页 |
| ·结论 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
| 第六章H13 钢离子氮化后表面沉积CrAlN 薄膜的性能研究 | 第100-113页 |
| ·前言 | 第100页 |
| ·试验设备与方法 | 第100-102页 |
| ·试样制备 | 第100-101页 |
| ·试验方法 | 第101页 |
| ·表征方法 | 第101-102页 |
| ·结果与讨论 | 第102-110页 |
| ·H13 钢表面离子氮化后的性能 | 第102-103页 |
| ·离子氮化与磁控溅射沉积CrAlN 薄膜复合处理后试样的耐磨性 | 第103-108页 |
| ·H13 钢表面渗氮后沉积CrAlN 薄膜的耐腐蚀性研究 | 第108-110页 |
| ·本章小结 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-113页 |
| 第七章 结论 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第117-118页 |
| 博士学位论文独创性说明 | 第118页 |
