| 摘要 | 第1-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的基本性质及应用 | 第12-14页 |
| ·AZO 薄膜的组织结构 | 第12页 |
| ·与ITO 薄膜相比AZO 薄膜的应用优势 | 第12-13页 |
| ·AZO 薄膜的应用范围 | 第13-14页 |
| ·AZO 薄膜的研究现状 | 第14-15页 |
| ·AZO 薄膜在国外的研究现状 | 第14页 |
| ·AZO 薄膜在国内的研究现状 | 第14-15页 |
| ·问题的提出及本文研究的内容 | 第15-16页 |
| ·问题的提出 | 第15页 |
| ·本文研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 AZO 薄膜的制备及测试 | 第16-21页 |
| ·AZO 薄膜的制备方法 | 第16-18页 |
| ·磁控溅射镀膜技术 | 第16-17页 |
| ·本实验中所采用的射频磁控溅射镀膜镀膜装置 | 第17-18页 |
| ·薄膜制备过程 | 第18-20页 |
| ·实验工艺参数 | 第18-19页 |
| ·实验准备 | 第19页 |
| ·实验过程 | 第19-20页 |
| ·AZO 薄膜样品表征方法 | 第20-21页 |
| 第三章 AZO 薄膜的制备工艺及薄膜特性研究 | 第21-40页 |
| ·AZO 薄膜的导电透明机理 | 第21-23页 |
| ·AZO 薄膜的导电机理 | 第21-22页 |
| ·AZO 薄膜光学特性 | 第22-23页 |
| ·AZO 薄膜制备工艺研究 | 第23-38页 |
| ·Ar 气压强对AZO 薄膜特性的影响 | 第23-26页 |
| ·Ar 气压强工作气压对电学特性的影响 | 第24-25页 |
| ·Ar 气压强对AZO 薄膜光学特性的影响 | 第25-26页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜特性的影响 | 第26-29页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第26-29页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜光学特性的影响 | 第29页 |
| ·靶衬距对AZO 薄膜特性的影响 | 第29-32页 |
| ·靶衬距对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第30-31页 |
| ·靶衬距对AZO 薄膜光学特性的影响 | 第31-32页 |
| ·衬底温度对AZO 薄膜特性的影响 | 第32-36页 |
| ·衬底温度对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第32-35页 |
| ·衬底温度对AZO 薄膜光学特性的影响 | 第35-36页 |
| ·镀膜时间对AZO 薄膜特性的影响 | 第36-38页 |
| ·镀膜时间对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第36-38页 |
| ·镀膜时间对薄膜AZO 光学特性的影响 | 第38页 |
| ·优化工艺参数制备性能优良的AZO 薄膜 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 AZO 复合薄膜的工艺研究 | 第40-44页 |
| ·增加ITO 覆盖层的AZO 的复合透明导电薄膜的制备 | 第40-41页 |
| ·增加ZNO 过渡层的AZO 的复合透明导电薄膜的制备 | 第41-44页 |
| 第五章 总结 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第50页 |