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引线键合高频超声换能器的设计和键合头运动控制研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-16页
   ·课题的研究背景和意义第7-9页
   ·国内外研究状况第9-14页
     ·引线键合超声换能器的国内外研究状况第9-13页
     ·引线键合头的国内外研究状况第13-14页
   ·本文主要内容第14-16页
第二章 高频超声换能器的设计第16-29页
   ·引言第16页
   ·超声换能器的设计理论和方法第16-18页
   ·压电陶瓷材料及其纵振模式第18-21页
     ·压电陶瓷材料及其重要参数第18-20页
     ·压电陶瓷纵振模式第20-21页
   ·超声换能器系统设计第21-28页
     ·纵振聚能器机电等效电路和频率方程第21-24页
     ·纵振换能器机电等效电路及其频率方程第24-26页
     ·纵振压电超声换能器系统设计第26-28页
   ·本章小结第28-29页
第三章 压电超声换能器仿真和优化设计第29-41页
   ·引言第29页
   ·压电陶瓷有限元分析理论第29-31页
   ·高频超声换能器有限元仿真与优化第31-40页
     ·单片压电陶瓷圆环谐振特性分析第32-33页
     ·压电陶瓷晶堆谐振特性分析第33-34页
     ·半波长压电振子谐振特性分析和优化第34-35页
     ·聚能器谐振特性分析和优化第35-37页
     ·换能器系统谐振特性分析第37-39页
     ·预紧螺栓对换能器系统谐振特性影响第39-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 压电超声换能器实验测试第41-48页
   ·引言第41页
   ·压电换能器的导纳测试的原理第41-44页
     ·压电换能器的等效电路第41-42页
     ·压电换能器导纳测量的基本原理第42-44页
   ·压电换能器实验测试第44-47页
     ·单片压电陶瓷圆环的阻抗测试第45-46页
     ·压电超声换能器阻抗测试第46-47页
   ·本章小结第47-48页
第五章 引线键合头动力学分析和控制第48-57页
   ·引言第48页
   ·引线键合头部结构第48页
   ·运动负载部件的动力学振动特性分析第48-51页
   ·音圈电机驱动的键合头部件控制第51-56页
     ·键合头主要运动控制系统的构成第51页
     ·运动控制系统硬件接线图第51-52页
     ·引线键合头运动特性研究第52-56页
   ·本章小结第56-57页
第六章 全文总结第57-59页
   ·结论第57-58页
   ·工作展望第58-59页
参考文献第59-63页
发表论文和科研情况说明第63-64页
致谢第64页

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