引线键合高频超声换能器的设计和键合头运动控制研究
中文摘要 | 第1-4页 |
英文摘要 | 第4-5页 |
目录 | 第5-7页 |
第一章 绪论 | 第7-16页 |
·课题的研究背景和意义 | 第7-9页 |
·国内外研究状况 | 第9-14页 |
·引线键合超声换能器的国内外研究状况 | 第9-13页 |
·引线键合头的国内外研究状况 | 第13-14页 |
·本文主要内容 | 第14-16页 |
第二章 高频超声换能器的设计 | 第16-29页 |
·引言 | 第16页 |
·超声换能器的设计理论和方法 | 第16-18页 |
·压电陶瓷材料及其纵振模式 | 第18-21页 |
·压电陶瓷材料及其重要参数 | 第18-20页 |
·压电陶瓷纵振模式 | 第20-21页 |
·超声换能器系统设计 | 第21-28页 |
·纵振聚能器机电等效电路和频率方程 | 第21-24页 |
·纵振换能器机电等效电路及其频率方程 | 第24-26页 |
·纵振压电超声换能器系统设计 | 第26-28页 |
·本章小结 | 第28-29页 |
第三章 压电超声换能器仿真和优化设计 | 第29-41页 |
·引言 | 第29页 |
·压电陶瓷有限元分析理论 | 第29-31页 |
·高频超声换能器有限元仿真与优化 | 第31-40页 |
·单片压电陶瓷圆环谐振特性分析 | 第32-33页 |
·压电陶瓷晶堆谐振特性分析 | 第33-34页 |
·半波长压电振子谐振特性分析和优化 | 第34-35页 |
·聚能器谐振特性分析和优化 | 第35-37页 |
·换能器系统谐振特性分析 | 第37-39页 |
·预紧螺栓对换能器系统谐振特性影响 | 第39-40页 |
·本章小结 | 第40-41页 |
第四章 压电超声换能器实验测试 | 第41-48页 |
·引言 | 第41页 |
·压电换能器的导纳测试的原理 | 第41-44页 |
·压电换能器的等效电路 | 第41-42页 |
·压电换能器导纳测量的基本原理 | 第42-44页 |
·压电换能器实验测试 | 第44-47页 |
·单片压电陶瓷圆环的阻抗测试 | 第45-46页 |
·压电超声换能器阻抗测试 | 第46-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
第五章 引线键合头动力学分析和控制 | 第48-57页 |
·引言 | 第48页 |
·引线键合头部结构 | 第48页 |
·运动负载部件的动力学振动特性分析 | 第48-51页 |
·音圈电机驱动的键合头部件控制 | 第51-56页 |
·键合头主要运动控制系统的构成 | 第51页 |
·运动控制系统硬件接线图 | 第51-52页 |
·引线键合头运动特性研究 | 第52-56页 |
·本章小结 | 第56-57页 |
第六章 全文总结 | 第57-59页 |
·结论 | 第57-58页 |
·工作展望 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
发表论文和科研情况说明 | 第63-64页 |
致谢 | 第64页 |