| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-23页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·半导体用超高纯金属互连线及其溅射靶材概述 | 第7-12页 |
| ·超高纯金属互连线及其溅射靶材的应用 | 第7-10页 |
| ·超高纯铝合金溅射靶材及其加工工艺 | 第10-12页 |
| ·形变及再结晶织构理论基础 | 第12-16页 |
| ·超高纯铝合金塑性变形行为与织构 | 第16-17页 |
| ·超高纯铝合金再结晶行为与织构 | 第17-19页 |
| ·超高纯铝合金的再结晶 | 第17-18页 |
| ·加工工艺对超高纯铝合金再结晶织构的影响 | 第18-19页 |
| ·课题研究目的意义、主要内容以及技术路线 | 第19-23页 |
| ·课题研究目的意义以及主要内容 | 第19-21页 |
| ·课题技术路线 | 第21-23页 |
| 2 试验材料及试验方法 | 第23-29页 |
| ·样品制备 | 第23-25页 |
| ·试验材料 | 第23页 |
| ·冷轧与退火 | 第23-25页 |
| ·检测与分析 | 第25-28页 |
| ·化学成分分析 | 第25页 |
| ·差热分析 | 第25页 |
| ·显微硬度测试 | 第25-26页 |
| ·金相组织观察 | 第26页 |
| ·SEM-ECC 观察 | 第26-27页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第27页 |
| ·电子背散射衍射（EBSD）分析 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 多向冷轧对超高纯Al-0.5%Cu 合金微结构及织构演变的影响 | 第29-45页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·多向冷轧对超高纯 Al-0.5%Cu 合金微结构演变的影响 | 第29-41页 |
| ·超高纯Al-0.5%Cu 合金多向冷轧变形的加工硬化行为 | 第29-30页 |
| ·多向冷轧对超高纯Al-0.5%Cu 合金微观组织的影响 | 第30-35页 |
| ·多向冷轧超高纯Al-0.5%Cu 合金形变织构的演变 | 第35-39页 |
| ·多向冷轧对超高纯Al-0.5%Cu 合金板材取向差角分布的影响 | 第39-41页 |
| ·多向轧制超高纯 Al-0.5%Cu 合金板材的织构分布特征 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 4 超高纯 Al-0.5%Cu 合金板材的再结晶行为与织构 | 第45-73页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·退火工艺制度对合金板材再结晶程度的影响 | 第45-52页 |
| ·超高纯Al-0.5%Cu 合金板材再结晶温度范围 | 第45-46页 |
| ·退火工艺制度对超高纯Al-0.5%Cu 合金力学性能的影响 | 第46-49页 |
| ·不同形变量下超高纯Al-0.5%Cu 合金板材再结晶激活能 | 第49-52页 |
| ·退火工艺制度对超高纯 Al-0.5%Cu 合金微结构演变的影响 | 第52-71页 |
| ·退火工艺制度对超高纯Al-0.5%Cu 合金微观组织的影响 | 第52-60页 |
| ·退火工艺制度对超高纯Al-0.5%Cu 合金再结晶织构的影响 | 第60-65页 |
| ·退火工艺制度对合金板材取向差角分布的影响 | 第65-67页 |
| ·超高纯Al-0.5%Cu 合金板材再结晶晶粒的形核与长大 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 5 结论 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录 | 第81页 |
