| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-39页 |
| ·铁电体及铁电薄膜概述 | 第17-24页 |
| ·铁电材料的发展史 | 第17-20页 |
| ·铁电薄膜的生长制备方法 | 第20-22页 |
| ·铁电薄膜的性质和应用 | 第22-24页 |
| ·薄膜生长动力学的研究方法 | 第24-27页 |
| ·动力学理论方法简介 | 第24-25页 |
| ·KMC 方法简介 | 第25-27页 |
| ·铁电电畴和压电力显微镜(PFM) | 第27-29页 |
| ·电畴的定义 | 第27页 |
| ·PFM 简介和工作原理 | 第27-29页 |
| ·铁电薄膜的畴变演化和相变 | 第29-35页 |
| ·热力电场作用下的畴变 | 第30-31页 |
| ·畴变与压电效应和印记失效 | 第31-33页 |
| ·铁电相变及研究现状 | 第33页 |
| ·畴变和相变的关系 | 第33-35页 |
| ·本论文的选题依据及主要内容 | 第35-39页 |
| ·本论文的选题依据 | 第35-37页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第37-39页 |
| 第2章 BaTiO_3 薄膜亚单层生长的KMC 模拟 | 第39-49页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·二维KMC 模型的构造 | 第40-41页 |
| ·二维模拟中的基本事件 | 第41-44页 |
| ·原子的沉积过程 | 第42页 |
| ·原子的表面扩散及扩散激活能的计算 | 第42-43页 |
| ·原子的表面成键过程 | 第43-44页 |
| ·激光脉冲参数对亚单层生长的影响 | 第44-48页 |
| ·脉冲重复频率对亚单层生长的影响 | 第44-45页 |
| ·脉冲持续时间对亚单层生长的影响 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 BaTiO_3 薄膜多层生长的KMC 模拟 | 第49-66页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·三维KMC 模型的构造 | 第49-50页 |
| ·三维模拟中的基本事件 | 第50-53页 |
| ·原子的沉积过程 | 第51页 |
| ·吸附原子的三维扩散及扩散激活能的计算 | 第51-53页 |
| ·原子的三维成键过程 | 第53页 |
| ·原子岛的迁移 | 第53页 |
| ·不同PLD 参数条件下BaTiO_3 薄膜的三维生长分析 | 第53-59页 |
| ·三维模型中的生长模式 | 第53-55页 |
| ·入射原子动能对三维生长的影响 | 第55-57页 |
| ·脉冲激光重复频率对三维生长的影响 | 第57-58页 |
| ·平均沉积速率对三维生长的影响 | 第58-59页 |
| ·基于三维模型的BaTiO_3 薄膜RHEED 的 KMC 模拟 | 第59-64页 |
| ·RHEED 原理及其强度计算 | 第59-62页 |
| ·PLD 参数对RHEED 强度的影响 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第4章 BET 和NBT-KBT100x 薄膜制备及其电畴观测 | 第66-85页 |
| ·引言 | 第66-67页 |
| ·BET 和NBT-KBT100x 薄膜的制备及表征 | 第67-72页 |
| ·BET 薄膜的制备及晶体结构和铁电性能表征 | 第67-70页 |
| ·NBT-KBT100x 薄膜制备及晶体结构和表面形貌表征 | 第70-72页 |
| ·外加力场下BET 铁电薄膜的畴翻转 | 第72-78页 |
| ·PFM 实验参数和力曲线 | 第72-73页 |
| ·不同力场下BET 薄膜的畴变观测 | 第73-78页 |
| ·外场下NBT-KBT100x 薄膜的畴翻转 | 第78-83页 |
| ·NBT-KBT100x 薄膜的电畴成像及畴结构分析 | 第78-80页 |
| ·NBT-KBT100x 薄膜的极化和印记分析 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第5章 立方基底PZT 铁电薄膜的畴变观测和理论分析 | 第85-97页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·PZT 铁电薄膜的PLD 制备及微结构表征 | 第85-87页 |
| ·XRD 估算PZT 铁电薄膜面内应变 | 第87-89页 |
| ·XRD 估算面内应变的方法原理 | 第87-88页 |
| ·PZT 铁电薄膜的面内应变 | 第88-89页 |
| ·外加电场下的畴变观测及其理论分析 | 第89-95页 |
| ·外加电场下畴变的实验观测 | 第89-90页 |
| ·外加电场下非线性热力学理论模型的建立 | 第90-93页 |
| ·外加电场下畴变的相图分析 | 第93-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 第6章 正交基底PZT 薄膜的相变研究 | 第97-109页 |
| ·引言 | 第97-98页 |
| ·非平衡双轴失配应变下非线性热力学理论模型 | 第98-100页 |
| ·无外场下正交基底PZT 铁电薄膜的相变 | 第100-104页 |
| ·无外场下的模型简化 | 第100页 |
| ·失配应变-失配应变相图 | 第100-101页 |
| ·失配应变-介电/压电系数关系曲线 | 第101-104页 |
| ·外加应力场下正交基底PZT 铁电薄膜相图分析 | 第104-106页 |
| ·外加力场下的模型简化 | 第104-105页 |
| ·失配应变-外加应力相图 | 第105-106页 |
| ·不同温度下正交基底PZT 铁电薄膜相图分析 | 第106-107页 |
| ·不同温度下模型简化 | 第106页 |
| ·失配应变-温度相图 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-109页 |
| 第7章 总结和展望 | 第109-113页 |
| ·论文总结 | 第109-111页 |
| ·工作展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 攻读博士期间发表的论文及研究成果 | 第126-128页 |
| 攻读博士期间所主持的科研项目和参加的学术会议 | 第128页 |
