| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第10-13页 |
| 1.3 SPAD研究的关键技术 | 第13-14页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第14-16页 |
| 2 SPAD电路模型设计 | 第16-25页 |
| 2.1 建模软件及理论基础 | 第16-19页 |
| 2.2 新型SPAD电路模型 | 第19-22页 |
| 2.3 仿真结果及分析 | 第22-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 SPAD单光子测试系统的设计 | 第25-42页 |
| 3.1 基础电路模块的选择 | 第25-28页 |
| 3.2 系统电路模块设计与实现 | 第28-35页 |
| 3.3 单光子探测实验及结果分析 | 第35-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 4 SPAD工艺研究 | 第42-61页 |
| 4.1 SPAD暗电流分析 | 第42-44页 |
| 4.2 表面钝化工艺研究 | 第44-52页 |
| 4.3 InGaAs/InAlAs探测器芯片工艺及测试分析 | 第52-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第69页 |