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不同功率大气压双频等离子体沉积碳薄膜的实验及数值模拟

摘要第8-10页
Abstract第10-11页
第一章 绪论第12-19页
    1.1 大气压等离子第12页
    1.2 大气压等离子的产生第12-14页
        1.2.1 电晕放电第12-13页
        1.2.2 辉光放电第13页
        1.2.3 介质阻挡放电第13-14页
    1.3 等离子化学气相沉积第14页
    1.4 双频大气压冷等离子体射流第14页
    1.5 研究背景及现状第14-16页
        1.5.1 研究背景第14-15页
        1.5.2 研究现状第15-16页
    1.6 本文研究的主要内容第16-17页
    参考文献第17-19页
第二章 实验装置与数值理论基础第19-27页
    2.1 实验装置第19-20页
    2.2 材料表征第20页
        2.2.1 扫描电镜(SEM)第20页
        2.2.2 X射线衍射仪(XRD)第20页
        2.2.3 红外光谱(FTIR)第20页
        2.2.4 发射光谱(OES)第20页
    2.3 大气压等离子的理论模型第20-26页
        2.3.1 数值方案第21-22页
        2.3.2 流体模型第22-23页
        2.3.3 粒子与蒙特卡洛模型第23-26页
    参考文献第26-27页
第三章 大气压100MHz/100kHz双频驱动Ar/CCl_4等离子体射流制备碳材料的研究第27-38页
    3.1 实验装置第28-29页
    3.2 模拟方法第29-30页
    3.3 模拟结果第30-32页
    3.4 实验验证结果第32-35页
    3.5 小结第35-36页
    参考文献第36-38页
第四章 大气压100MHz/100kHz双频驱动Ar/CH_4等离子体炭黑制备的模拟和实验第38-49页
    4.1 实验装置第38-39页
    4.2 模拟方法第39-41页
    4.3 模拟结果第41-42页
    4.4 实验验证结果第42-45页
    4.5 小结第45-46页
    参考文献第46-49页
第五章 总结与展望第49-50页
附录第50-51页
致谢第51页

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