摘要 | 第8-10页 |
Abstract | 第10-11页 |
第一章 绪论 | 第12-19页 |
1.1 大气压等离子 | 第12页 |
1.2 大气压等离子的产生 | 第12-14页 |
1.2.1 电晕放电 | 第12-13页 |
1.2.2 辉光放电 | 第13页 |
1.2.3 介质阻挡放电 | 第13-14页 |
1.3 等离子化学气相沉积 | 第14页 |
1.4 双频大气压冷等离子体射流 | 第14页 |
1.5 研究背景及现状 | 第14-16页 |
1.5.1 研究背景 | 第14-15页 |
1.5.2 研究现状 | 第15-16页 |
1.6 本文研究的主要内容 | 第16-17页 |
参考文献 | 第17-19页 |
第二章 实验装置与数值理论基础 | 第19-27页 |
2.1 实验装置 | 第19-20页 |
2.2 材料表征 | 第20页 |
2.2.1 扫描电镜(SEM) | 第20页 |
2.2.2 X射线衍射仪(XRD) | 第20页 |
2.2.3 红外光谱(FTIR) | 第20页 |
2.2.4 发射光谱(OES) | 第20页 |
2.3 大气压等离子的理论模型 | 第20-26页 |
2.3.1 数值方案 | 第21-22页 |
2.3.2 流体模型 | 第22-23页 |
2.3.3 粒子与蒙特卡洛模型 | 第23-26页 |
参考文献 | 第26-27页 |
第三章 大气压100MHz/100kHz双频驱动Ar/CCl_4等离子体射流制备碳材料的研究 | 第27-38页 |
3.1 实验装置 | 第28-29页 |
3.2 模拟方法 | 第29-30页 |
3.3 模拟结果 | 第30-32页 |
3.4 实验验证结果 | 第32-35页 |
3.5 小结 | 第35-36页 |
参考文献 | 第36-38页 |
第四章 大气压100MHz/100kHz双频驱动Ar/CH_4等离子体炭黑制备的模拟和实验 | 第38-49页 |
4.1 实验装置 | 第38-39页 |
4.2 模拟方法 | 第39-41页 |
4.3 模拟结果 | 第41-42页 |
4.4 实验验证结果 | 第42-45页 |
4.5 小结 | 第45-46页 |
参考文献 | 第46-49页 |
第五章 总结与展望 | 第49-50页 |
附录 | 第50-51页 |
致谢 | 第51页 |