| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 MEMS惯性器件与发展概况 | 第12-13页 |
| 1.2.2 MEMS惯性器件标定与补偿技术研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4 研究方法与技术路线 | 第15-17页 |
| 2 MEMS惯性器件及标定与补偿原理 | 第17-34页 |
| 2.1 MEMS惯性器件 | 第17-23页 |
| 2.1.1 MEMS加速度计 | 第17-19页 |
| 2.1.2 MEMS陀螺仪 | 第19-23页 |
| 2.2 MEMS惯性器件的性能指标 | 第23-25页 |
| 2.2.1 安装误差 | 第23-24页 |
| 2.2.2 标度因数误差 | 第24页 |
| 2.2.3 零偏误差 | 第24页 |
| 2.2.4 温度误差 | 第24-25页 |
| 2.3 MEMS惯性器件标定与补偿原理 | 第25-33页 |
| 2.3.1 加速度计标定与补偿原理 | 第25-28页 |
| 2.3.2 陀螺仪标定与补偿原理 | 第28-30页 |
| 2.3.3 MEMS惯性器件温度标定与补偿原理 | 第30-33页 |
| 2.4 小结 | 第33-34页 |
| 3 MEMS惯性器件的误差分析 | 第34-52页 |
| 3.1 频谱分析 | 第34-41页 |
| 3.1.1 频谱分析原理 | 第34-35页 |
| 3.1.2 频谱分析步骤 | 第35-36页 |
| 3.1.3 频谱分析结果 | 第36-41页 |
| 3.2 时间序列分析 | 第41-45页 |
| 3.2.1 时间序列分析理论与方法 | 第41-42页 |
| 3.2.2 时间序列分析应用 | 第42页 |
| 3.2.3 时间序列分析步骤 | 第42-45页 |
| 3.3 Allan方差分析 | 第45-51页 |
| 3.3.1 Allan方差分析法原理与步骤 | 第46-47页 |
| 3.3.2 Allan方差分析方法精度评定 | 第47-48页 |
| 3.3.3 Allan方差数据分析 | 第48-51页 |
| 3.4 三种分析方法比较 | 第51页 |
| 3.5 小结 | 第51-52页 |
| 4 MEMS惯性器件标定与补偿模型的建立 | 第52-61页 |
| 4.1 MEMS标定补偿技术 | 第52-53页 |
| 4.1.1 标定注意事项 | 第52-53页 |
| 4.1.2 安装坐标系 | 第53页 |
| 4.2 MEMS标定与补偿数学模型 | 第53-60页 |
| 4.2.1 加速度计标定与补偿模型 | 第54-56页 |
| 4.2.2 陀螺仪标定与补偿模型 | 第56-59页 |
| 4.2.3 温度标定与补偿模型 | 第59-60页 |
| 4.3 小结 | 第60-61页 |
| 5 MEMS标定与补偿实验测试与分析 | 第61-71页 |
| 5.1 实验测试平台 | 第61-63页 |
| 5.2 MEMS惯性器件标定补偿测试结果与分析 | 第63-70页 |
| 5.2.1 加速度计标定与补偿位置测试结果 | 第63-64页 |
| 5.2.2 陀螺仪标定与补偿速率测试结果 | 第64-65页 |
| 5.2.3 温度静态数据标定与补偿测试结果 | 第65-70页 |
| 5.3 小结 | 第70-71页 |
| 6 结论与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 结论 | 第71页 |
| 6.2 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 附录A 温度实验20℃原始数据 | 第75-78页 |
| 作者简历 | 第78-80页 |
| 学位论文数据集 | 第80页 |