| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号对照表 | 第12-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-16页 |
| 第一章 引言 | 第16-22页 |
| 1.1 GaN基材料特性以及发展过程 | 第16-19页 |
| 1.1.1 GaN基材料的特性及应用 | 第16-18页 |
| 1.1.2 GaN基材料的研究历程 | 第18-19页 |
| 1.2 GaN材料的生长 | 第19-20页 |
| 1.3 GaN材料的掺杂 | 第20-21页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第21-22页 |
| 第二章 GaN肖特基势垒二极管研究进展与器件物理基础 | 第22-30页 |
| 2.1 GaN肖特基势垒二极管的研究进展 | 第22-23页 |
| 2.2 GaN肖特基势垒二极管器件物理 | 第23-27页 |
| 2.2.1 肖特基势垒二极管基础简介 | 第23-25页 |
| 2.2.2 肖特基接触与肖特基势垒的形成 | 第25-26页 |
| 2.2.3 电流输运特性 | 第26-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-30页 |
| 第三章 不同类型蓝宝石衬底及SiH_4流量对GaN材料的影响 | 第30-46页 |
| 3.1 不同类型蓝宝石衬底对GaN材料性能的影响 | 第30-41页 |
| 3.1.1 样品表面形貌测试分析 | 第31-33页 |
| 3.1.2 样品阴极荧光谱测试分析 | 第33-34页 |
| 3.1.3 样品XRD测试分析 | 第34-38页 |
| 3.1.4 样品拉曼光谱测试分析 | 第38-39页 |
| 3.1.5 样品透射电镜测试分析 | 第39页 |
| 3.1.6 样品光致发光测试分析 | 第39-41页 |
| 3.2 SiH_4流量对N型GaN材料生长的影响 | 第41-44页 |
| 3.2.1 实验设计 | 第41页 |
| 3.2.2 样品电学特性测试分析 | 第41-42页 |
| 3.2.3 样品应力特性测试分析 | 第42-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 GaN肖特基势垒二极管器件制备与特性研究 | 第46-64页 |
| 4.1 GaN肖特基势垒二极管工艺研究 | 第46-54页 |
| 4.1.1 GaN肖特基势垒二极管制备工艺流程 | 第46-50页 |
| 4.1.2 GaN肖特基势垒二极管刻蚀工艺研究 | 第50-54页 |
| 4.2 GaN肖特基势垒二极管特性分析 | 第54-62页 |
| 4.2.1 GaN肖特基势垒二极管欧姆接触特性分析 | 第54-55页 |
| 4.2.2 GaN肖特基势垒二极管变温特性分析 | 第55-60页 |
| 4.2.3 阳极金属对GaN肖特基势垒二极管特性的影响 | 第60-61页 |
| 4.2.4 场板对GaN肖特基势垒二极管特性的影响 | 第61-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结和展望 | 第64-66页 |
| 5.1 总结 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 作者简介 | 第74-75页 |
