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GaN肖特基势垒二极管材料与器件研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
符号对照表第12-13页
缩略语对照表第13-16页
第一章 引言第16-22页
    1.1 GaN基材料特性以及发展过程第16-19页
        1.1.1 GaN基材料的特性及应用第16-18页
        1.1.2 GaN基材料的研究历程第18-19页
    1.2 GaN材料的生长第19-20页
    1.3 GaN材料的掺杂第20-21页
    1.4 本文主要工作第21-22页
第二章 GaN肖特基势垒二极管研究进展与器件物理基础第22-30页
    2.1 GaN肖特基势垒二极管的研究进展第22-23页
    2.2 GaN肖特基势垒二极管器件物理第23-27页
        2.2.1 肖特基势垒二极管基础简介第23-25页
        2.2.2 肖特基接触与肖特基势垒的形成第25-26页
        2.2.3 电流输运特性第26-27页
    2.3 本章小结第27-30页
第三章 不同类型蓝宝石衬底及SiH_4流量对GaN材料的影响第30-46页
    3.1 不同类型蓝宝石衬底对GaN材料性能的影响第30-41页
        3.1.1 样品表面形貌测试分析第31-33页
        3.1.2 样品阴极荧光谱测试分析第33-34页
        3.1.3 样品XRD测试分析第34-38页
        3.1.4 样品拉曼光谱测试分析第38-39页
        3.1.5 样品透射电镜测试分析第39页
        3.1.6 样品光致发光测试分析第39-41页
    3.2 SiH_4流量对N型GaN材料生长的影响第41-44页
        3.2.1 实验设计第41页
        3.2.2 样品电学特性测试分析第41-42页
        3.2.3 样品应力特性测试分析第42-44页
    3.3 本章小结第44-46页
第四章 GaN肖特基势垒二极管器件制备与特性研究第46-64页
    4.1 GaN肖特基势垒二极管工艺研究第46-54页
        4.1.1 GaN肖特基势垒二极管制备工艺流程第46-50页
        4.1.2 GaN肖特基势垒二极管刻蚀工艺研究第50-54页
    4.2 GaN肖特基势垒二极管特性分析第54-62页
        4.2.1 GaN肖特基势垒二极管欧姆接触特性分析第54-55页
        4.2.2 GaN肖特基势垒二极管变温特性分析第55-60页
        4.2.3 阳极金属对GaN肖特基势垒二极管特性的影响第60-61页
        4.2.4 场板对GaN肖特基势垒二极管特性的影响第61-62页
    4.3 本章小结第62-64页
第五章 总结和展望第64-66页
    5.1 总结第64-65页
    5.2 展望第65-66页
参考文献第66-72页
致谢第72-74页
作者简介第74-75页

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