金刚石线电火花复合形状切割工艺及弯丝控制研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 半导体特性及应用 | 第11-12页 |
| 1.2 半导体材料加工方法 | 第12-23页 |
| 1.2.1 圆锯切割 | 第12-14页 |
| 1.2.2 带锯切割 | 第14页 |
| 1.2.3 游离磨料多线切割 | 第14-16页 |
| 1.2.4 固结磨料线切割 | 第16-21页 |
| 1.2.5 电火花线切割 | 第21-23页 |
| 1.2.6 其他加工方法 | 第23页 |
| 1.3 课题研究的背景及意义 | 第23-25页 |
| 1.4 课题研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 试验机床及检测设备 | 第27-34页 |
| 2.1 试验机床 | 第27-29页 |
| 2.1.1 机床的功能及参数 | 第27-28页 |
| 2.1.2 张力调控装置 | 第28-29页 |
| 2.2 试验检测设备 | 第29-33页 |
| 2.2.1 样品处理设备 | 第29-30页 |
| 2.2.2 数据采集与测量仪器 | 第30-32页 |
| 2.2.3 金刚石线及切割工件 | 第32-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 金刚石线电火花复合形状切割工艺研究 | 第34-46页 |
| 3.1 硬脆材料形状切割工艺研究现状 | 第34-35页 |
| 3.2 金刚石线电火花复合加工机理分析 | 第35-38页 |
| 3.2.1 建模分析 | 第35-36页 |
| 3.2.2 放电特性 | 第36-38页 |
| 3.3 试验准备与试验条件 | 第38-39页 |
| 3.3.1 进电导轮 | 第38-39页 |
| 3.3.2 电源装置 | 第39页 |
| 3.3.3 试验条件 | 第39页 |
| 3.4 试验现象及结果分析 | 第39-44页 |
| 3.4.1 弯丝量 | 第39-41页 |
| 3.4.2 损伤层厚度 | 第41-42页 |
| 3.4.3 表面形貌 | 第42-43页 |
| 3.4.4 表面粗糙度 | 第43-44页 |
| 3.4.5 切缝宽 | 第44页 |
| 3.5 形状切割试验验证 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 金刚石线电火花复合形状切割弯丝控制研究 | 第46-57页 |
| 4.1 半导体加工伺服控制系统研究现状 | 第46-47页 |
| 4.2 硬脆材料线切割弯丝现象分析 | 第47-50页 |
| 4.3 压力检测弯丝控制系统设计 | 第50-54页 |
| 4.3.1 信息采集设计 | 第50-51页 |
| 4.3.2 信息处理设计 | 第51-54页 |
| 4.4 切割试验 | 第54-56页 |
| 4.4.1 试验准备与试验条件 | 第54页 |
| 4.4.2 试验设备的调试与校准 | 第54-55页 |
| 4.4.3 试验现象及结果分析 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-60页 |
| 5.1 论文完成的主要工作 | 第57-58页 |
| 5.2 课题后续研究展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第66页 |
