复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 真空泵的分类及概况 | 第9-11页 |
| 1.3 分子泵介绍 | 第11-12页 |
| 1.4 国内分子泵发展现状 | 第12-13页 |
| 1.5 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.6 本文工作 | 第14-15页 |
| 第2章 复合分子泵性能计算方法 | 第15-37页 |
| 2.1 复合分子泵的结构及其特点 | 第15页 |
| 2.2 涡轮级性能计算方法 | 第15-22页 |
| 2.2.1 涡轮分子泵的工作原理 | 第15-17页 |
| 2.2.2 叶列抽气性能参数 | 第17-19页 |
| 2.2.3 单叶列抽气性能参数数值计算 | 第19-20页 |
| 2.2.4 组合叶列整体抽气性能计算 | 第20-22页 |
| 2.2.5 本章小结 | 第22页 |
| 2.3 盘式牵引级介绍 | 第22-27页 |
| 2.3.1 盘式复合分子泵原理 | 第22-24页 |
| 2.3.2 盘型分子泵型线简介 | 第24-27页 |
| 2.4 筒式牵引级计算方法 | 第27-37页 |
| 2.4.1 物理模型 | 第27-29页 |
| 2.4.2 牵引分子泵分子流态性能计算 | 第29-32页 |
| 2.4.3 牵引分子泵粘滞流态性能计算 | 第32-37页 |
| 第3章 涡轮级抽气性能优化 | 第37-43页 |
| 3.1 叶片尺长对抽气性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.2 叶片倾角对抽气性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.3 叶片齿数对抽气性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.4 节弦比与速度比对抽气性能的 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 牵引级抽气性能优化 | 第43-61页 |
| 4.1 槽深对牵引级抽气性能的影响 | 第43-48页 |
| 4.2 转子与定子间隙对牵引级抽气性能的影响 | 第48-55页 |
| 4.3 螺旋升角对牵引级抽气性能的影响 | 第55-61页 |
| 4.3.1 实例计算 | 第55-56页 |
| 4.3.2 结果分析 | 第56-60页 |
| 4.3.3 结论 | 第60-61页 |
| 第5章 过渡流态计算方法设想 | 第61-63页 |
| 第6章 结束语及对未来工作展望 | 第63-67页 |
| 6.1 研究总结 | 第63-64页 |
| 6.2 未来工作展望与建议 | 第64-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第75页 |
