液相化学法制备择优取向生长ZnO薄膜及Al掺杂研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 ZnO的基本性质 | 第13-19页 |
| 1.2.1 晶体结构 | 第13-15页 |
| 1.2.2 ZnO的能带结构 | 第15-17页 |
| 1.2.3 ZnO光学性能 | 第17页 |
| 1.2.4 ZnO电学性能 | 第17-19页 |
| 1.3 ZnO掺杂 | 第19-20页 |
| 1.4 ZnO薄膜的制备方法 | 第20-25页 |
| 1.4.1 气相法制备技术 | 第20-24页 |
| 1.4.2 液相法制备技术 | 第24-25页 |
| 1.5 ZnO薄膜的应用 | 第25-27页 |
| 1.5.1 压电器件 | 第25-26页 |
| 1.5.2 太阳能电池 | 第26页 |
| 1.5.3 气敏元件 | 第26-27页 |
| 1.6 本研究的内容及意义 | 第27-30页 |
| 第2章 实验原理与表征方法 | 第30-40页 |
| 2.1 本文ZnO薄膜的制备 | 第30-33页 |
| 2.1.1 SG-ZnO衬底的制备原理 | 第30-32页 |
| 2.1.2 CBD薄膜的制备原理 | 第32-33页 |
| 2.2 分析手段及基本原理 | 第33-40页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析 | 第33-34页 |
| 2.2.2 扫描电子显微分析 | 第34-35页 |
| 2.2.3 X射线能量色散谱分析 | 第35-36页 |
| 2.2.4 原子力显微镜分析 | 第36-37页 |
| 2.2.5 紫外-可见光光谱分析 | 第37-38页 |
| 2.2.6 光致发光分析 | 第38页 |
| 2.2.7 范德堡法 | 第38-40页 |
| 第3章 CBD法制备非极性ZnO薄膜的条件优化 | 第40-52页 |
| 3.1 前言 | 第40页 |
| 3.2 实验设备及化学试剂 | 第40-41页 |
| 3.2.1 实验设备 | 第40-41页 |
| 3.2.2 化学试剂 | 第41页 |
| 3.3 制备条件的优化 | 第41-51页 |
| 3.3.1 种子层的制备 | 第41-42页 |
| 3.3.2 溶剂的影响 | 第42-48页 |
| 3.3.2 非极性辅助剂含量的影响 | 第48-51页 |
| 3.4 本章结论 | 第51-52页 |
| 第4章 Al掺杂非吸性ZnO薄膜的制备及性能研究 | 第52-66页 |
| 4.1 Al掺杂非极性ZnO薄膜的制备 | 第52-53页 |
| 4.2 Al掺杂含量的影响 | 第53-64页 |
| 4.2.1 晶体结构 | 第53-56页 |
| 4.2.2 表面形貌及成分 | 第56-59页 |
| 4.2.3 电学性能 | 第59-60页 |
| 4.2.4 光学性能 | 第60-64页 |
| 4.3 本章结论 | 第64-66页 |
| 第5章 结论 | 第66-68页 |
| 5.1 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
