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多尺度陷光结构设计与制备研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-16页
    1.1 研究背景及意义第10-11页
    1.2 薄膜硅太阳能电池陷光结构的研究进展第11-15页
    1.3 论文选题思想及内容第15-16页
第二章 陷光结构数值分析方法第16-23页
    2.1 时域有限差分方法的基本方程第16-19页
    2.2 优化程序的数值稳定性与数值色散第19-20页
    2.3 优化程序的边界条件第20-22页
    2.4 本章小结第22-23页
第三章 一维多尺度陷光结构设计与优化第23-39页
    3.1 结构面型的提出第23-24页
    3.2 数值仿真方法及仿真参数设定第24-25页
    3.3 陷光结构优化过程第25-37页
        3.3.1 全局初值优化第26-30页
        3.3.2 局部算法优化第30-37页
    3.4 结构面型特征对陷光能力的影响第37-38页
    3.5 本章小结第38-39页
第四章 太阳能电池陷光结构仿真软件的设计第39-47页
    4.1 优化软件设计概述第39-41页
        4.1.1 系统需求分析第39-40页
        4.1.2 软件模块和框架介绍第40页
        4.1.3 软件的开发环境与工具第40-41页
    4.2 软件使用说明与演示第41-45页
    4.3 优化程序的应用场景第45-46页
    4.4 不同开源数值仿真软件比较第46页
    4.5 本章小结第46-47页
第五章 二维多尺度陷光结构的设计与优化第47-57页
    5.1 二维结构面型的提出第47-49页
    5.2 仿真计算步骤第49-50页
    5.3 优化过程第50-56页
        5.3.1 全局初值优化第50-53页
        5.3.2 局部算法优化第53-56页
    5.4 本章小结第56-57页
第六章 多尺度结构的初步制备研究第57-71页
    6.1 干涉光刻实验原理第57-59页
    6.2 干涉光刻实验流程第59-62页
        6.2.1 实验装置第59页
        6.2.2 实验工艺优化第59-62页
    6.3 一维多尺度结构的初步制备第62-66页
        6.3.1 一维单周期余弦结构制备研究第62-64页
        6.3.2 一维多尺度结构制备研究第64-66页
    6.4 二维多尺度结构的初步制备第66-70页
        6.4.1 二维单周期余弦结构制备研究第66-68页
        6.4.2 二维多尺度结构制备研究第68-70页
    6.5 本章小结第70-71页
第七章 总结与展望第71-73页
    7.1 论文的主要创新性成果第71页
    7.2 下一步工作的展望第71-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-78页
攻硕期间取得的研究成果第78-79页

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