| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 硬质多层膜 | 第11-14页 |
| 1.2.1 硬质多层膜的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 TiN/ZrN多层膜的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 薄膜中的应力 | 第14-21页 |
| 1.3.1 应力产生机制 | 第14-17页 |
| 1.3.2 应力测试方法 | 第17-18页 |
| 1.3.3 薄膜应力的研究进展 | 第18-20页 |
| 1.3.4 多层膜应力的研究进展 | 第20-21页 |
| 1.4 金属材料的疲劳性能 | 第21-26页 |
| 1.4.1 金属材料的疲劳机理 | 第21-23页 |
| 1.4.2 高周疲劳的测试方法 | 第23-25页 |
| 1.4.3 薄膜对基体疲劳性能的影响 | 第25-26页 |
| 1.5 本课题的研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 薄膜的制备与测试方法 | 第27-33页 |
| 2.1 薄膜的制备 | 第27-29页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第27页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第27-28页 |
| 2.1.3 Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的制备工艺 | 第28-29页 |
| 2.2 薄膜性能表征 | 第29-30页 |
| 2.2.1 薄膜表面与截面形貌分析 | 第29页 |
| 2.2.2 薄膜厚度测试 | 第29页 |
| 2.2.3 薄膜硬度测试 | 第29-30页 |
| 2.2.4 薄膜结合力测试 | 第30页 |
| 2.3 残余应力测试 | 第30-32页 |
| 2.4 拉伸性能测试 | 第32页 |
| 2.5 疲劳性能测试 | 第32-33页 |
| 第三章 TI/TIN/ZR/ZRN多层膜残余应力及性能研究 | 第33-51页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 TiN和ZrN单层膜应力及性能 | 第33-37页 |
| 3.2.1 TiN和ZrN单层膜截面形貌 | 第33-34页 |
| 3.2.2 TiN和ZrN单层膜的应力 | 第34-36页 |
| 3.2.3 TiN和ZrN单层膜的性能 | 第36-37页 |
| 3.3 不同调制周期多层膜的应力及性能 | 第37-43页 |
| 3.3.1 不同调制周期Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的截面形貌及相结构 | 第37-39页 |
| 3.3.2 不同调制周期Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的应力 | 第39-42页 |
| 3.3.3 不同调制周期Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的性能 | 第42-43页 |
| 3.4 不同调制比对Ti/Ti N/Zr/ZrN多层膜的应力及性能 | 第43-46页 |
| 3.4.1 不同调制比对Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的截面形貌 | 第43-44页 |
| 3.4.2 不同调制比对Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的应力 | 第44-45页 |
| 3.4.3 不同调制比对Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜的性能 | 第45-46页 |
| 3.5 不同Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜厚度的应力及性能 | 第46-50页 |
| 3.5.1 不同Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜厚度的截面形貌 | 第46-47页 |
| 3.5.2 不同Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜厚度的应力 | 第47-48页 |
| 3.5.3 不同Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜厚度的性能 | 第48-50页 |
| 3.6 小结 | 第50-51页 |
| 第四章 TI/TIN/ZR/ZRN多层膜对基体疲劳性能的影响 | 第51-64页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜对基体材料拉伸性能的影响 | 第51-53页 |
| 4.3 Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜对基体材料疲劳极限的影响 | 第53-54页 |
| 4.4 应力-疲劳寿命关系 | 第54-56页 |
| 4.5 断口形貌分析 | 第56-62页 |
| 4.5.1 基体试样的断口形貌 | 第57-59页 |
| 4.5.2 镀膜试样的断口形貌 | 第59-62页 |
| 4.6 小结 | 第62-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 附件 | 第75页 |
