| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 微光学 | 第14-20页 |
| 1.1.1 微光学的研究领域和发展前景 | 第14-16页 |
| 1.1.2 微光学分类 | 第16-17页 |
| 1.1.3 微光学元件的制备方法 | 第17-20页 |
| 1.2 飞秒激光加工技术 | 第20-23页 |
| 1.2.1 飞秒激光的特点 | 第20-21页 |
| 1.2.2 飞秒激光直写技术 | 第21-23页 |
| 1.3 衍射光学元件 | 第23-27页 |
| 1.3.1 衍射光学元件与二元光学元件 | 第23-24页 |
| 1.3.2 衍射光学元件的特点 | 第24-26页 |
| 1.3.3 衍射光学的应用 | 第26-27页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第27-30页 |
| 第二章 飞秒激光直写系统的优化 | 第30-46页 |
| 2.1 基于飞秒激光直写的微加工系统 | 第30-33页 |
| 2.1.1 基于飞秒激光直写的微加工系统的组成 | 第30-32页 |
| 2.1.2 基于飞秒激光直写的微加工的工艺流程 | 第32-33页 |
| 2.2 基于大范围气浮平台的飞秒激光直写微加工系统的搭建 | 第33-39页 |
| 2.2.1 大范围气浮平台的简介 | 第33-34页 |
| 2.2.2 基于 ABL1000 气浮平台的微加工系统的搭建 | 第34-37页 |
| 2.2.3 基于 ABL1000 气浮平台的软件控制系统的设计 | 第37-39页 |
| 2.3 基于大范围气浮平台的飞秒激光直写微加工系统的优化 | 第39-44页 |
| 2.3.1 数据结构及数据模型的优化 | 第39-41页 |
| 2.3.2 软件位置同步输出系统（PSO）的设计 | 第41-42页 |
| 2.3.3 动态加工数据的设计 | 第42-43页 |
| 2.3.4 优化设计的实验结果 | 第43-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 边发射半导体激光器整形波带片 | 第46-64页 |
| 3.1 半导体激光器 | 第46-49页 |
| 3.1.1 半导体激光器的应用 | 第46-47页 |
| 3.1.2 半导体激光器光束特点 | 第47-48页 |
| 3.1.3 边发射激光器光束特性 | 第48-49页 |
| 3.2 半导体激光器的整形技术的国内外研究现状 | 第49-52页 |
| 3.3 整形波带片的设计 | 第52-59页 |
| 3.3.1 波带片的设计 | 第53-54页 |
| 3.3.2 基于边发射半导体激光器发射面及发散角多阶波带片的设计 | 第54-55页 |
| 3.3.3 多阶非对称波带片的制备 | 第55-58页 |
| 3.3.4 整形用多阶非对称波带片的制备 | 第58-59页 |
| 3.4 整形效果测试 | 第59-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 多层衍射微光学元件的设计与制备 | 第64-82页 |
| 4.1 单层衍射光学元件与谐衍射光学元件 | 第64-68页 |
| 4.1.1 单层衍射光学元件 | 第64-66页 |
| 4.1.2 谐衍射光学元件 | 第66-68页 |
| 4.2 多层衍射光学元件的理论基础 | 第68-71页 |
| 4.2.1 多层衍射光学元件的研究现状 | 第68-70页 |
| 4.2.2 多层衍射光学元件的设计理论 | 第70-71页 |
| 4.3 多层衍射光学元件的制备 | 第71-77页 |
| 4.3.1 基于 SU-8 和乙二醇的三层衍射光学元件的理论设计 | 第71-73页 |
| 4.3.2 多层衍射光学元件的制备 | 第73-77页 |
| 4.4 多层衍射光学元件的性能测试 | 第77-80页 |
| 4.4.1 多层衍射光学元件和单层衍射光学元件衍射效率的理论对比 | 第77-78页 |
| 4.4.2 多层衍射光学元件衍射效率的测试 | 第78-79页 |
| 4.4.3 多层衍射光学元件的成像测试 | 第79-80页 |
| 4.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 第五章 混合光学系统 | 第82-100页 |
| 5.1 混合光学技术 | 第82-84页 |
| 5.1.1 混合光学原理 | 第82-83页 |
| 5.1.2 混合光学优势 | 第83-84页 |
| 5.2 折/衍混合光学系统消色差设计 | 第84-87页 |
| 5.2.1 色差 | 第84-85页 |
| 5.2.2 像差计算的谱线选择 | 第85页 |
| 5.2.3 折/衍混合光学系统消色差设计 | 第85-87页 |
| 5.3 折/衍混合光学系统中折射元件和衍射光学元件的设计 | 第87-91页 |
| 5.3.1 非球面透镜 | 第87-90页 |
| 5.3.2 折/衍混合光学系统中折射元件的设计 | 第90页 |
| 5.3.3 折/衍混合光学系统中衍射光学元件的设计 | 第90-91页 |
| 5.4 折/衍混合光学系统消色差的理论模拟及消色差元件的制备 | 第91-98页 |
| 5.4.1 折/衍混合光学系统消色差的理论模拟 | 第91-93页 |
| 5.4.2 折/衍混合光学系统消色差元件的制备及性能展示 | 第93-98页 |
| 5.5 本章小结 | 第98-100页 |
| 第六章 结论 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-112页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第112-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
