| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 碳化硅晶圆切割的研究背景与意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外硬脆材料切割张力的控制研究 | 第10-12页 |
| 1.3 滑模控制算法的研究 | 第12-13页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 单线往复式金刚石线锯运丝系统张力的建模与仿真 | 第14-22页 |
| 2.1 构建运丝系统张力的力学模型 | 第14-19页 |
| 2.1.1 运丝原理 | 第14-16页 |
| 2.1.2 运丝系统的张力模型 | 第16-19页 |
| 2.2 运丝系统张力模型的仿真与分析 | 第19-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 单线往复式金刚石线锯锯丝张力影响因素分析 | 第22-38页 |
| 3.1 储丝筒和导轮半径跳动的影响 | 第22-25页 |
| 3.1.1 储丝筒和导轮半径跳动影响分析 | 第22-23页 |
| 3.1.2 储丝筒和导轮半径跳动的模型仿真与分析 | 第23-25页 |
| 3.2 储丝筒和导轮与线锯间摩擦力的影响 | 第25-29页 |
| 3.2.1 储丝筒和导轮与线锯间摩擦力影响分析 | 第25-27页 |
| 3.2.2 储丝筒和导轮与线锯锯丝的摩擦力的模型仿真与分析 | 第27-29页 |
| 3.3 运丝系统不对称性的仿真与分析 | 第29-31页 |
| 3.4 电机输入转矩的仿真与分析 | 第31-33页 |
| 3.5 导轮跨距的仿真与分析 | 第33-34页 |
| 3.6 储丝筒和导轮转动惯量的仿真与分析 | 第34-36页 |
| 3.7 所研究因素对张力影响大小的分析 | 第36页 |
| 3.8 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 单线往复式金刚石线锯锯丝张力的滑模控制 | 第38-54页 |
| 4.1 单线往复式金刚石线锯张力控制系统的研究 | 第38-43页 |
| 4.1.1 单线往复式金刚石线锯张力控制系统分析 | 第38-41页 |
| 4.1.2 单线往复式金刚石线锯张力控制系统的性能仿真分析 | 第41-43页 |
| 4.2 基于滑模变结构控制算法的控制器的设计 | 第43-53页 |
| 4.2.1 系统状态方程的确定 | 第43-45页 |
| 4.2.2 直接基于状态方程的滑模控制器的设计 | 第45-49页 |
| 4.2.3 基于动态面的滑模控制器的设计 | 第49-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 单线往复式金刚石线锯切割张力控制实验 | 第54-64页 |
| 5.1 空载下的张力控制 | 第54-58页 |
| 5.1.1 张力控制实验平台 | 第54-56页 |
| 5.1.2 张力控制实验的结果及分析 | 第56-58页 |
| 5.2 滑模控制器在模拟切割中的性能验证实验 | 第58-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |