| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 传感器概述 | 第11-14页 |
| 1.1.1 传感器简介 | 第11-12页 |
| 1.1.2 传感器的产生及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 气体传感器概述 | 第14-17页 |
| 1.2.1 气体传感器简介 | 第14-15页 |
| 1.2.2 气体传感器的分类 | 第15-16页 |
| 1.2.3 气体传感器的应用和发展前景 | 第16-17页 |
| 1.3 敏感材料概述 | 第17-20页 |
| 1.3.1 敏感材料简介 | 第17-18页 |
| 1.3.2 敏感材料的制备 | 第18-19页 |
| 1.3.3 一氧化碳气敏材料的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4 MEMS气体传感器 | 第20-23页 |
| 1.4.1 MEMS气体传感器概述 | 第20-21页 |
| 1.4.2 MEMS气体传感器结构 | 第21-23页 |
| 1.4.3 MEMS气体传感器研究现状与发展方向 | 第23页 |
| 1.5 选题背景和研究意义 | 第23-24页 |
| 1.6 课题研究内容 | 第24-25页 |
| 2 SnO_2基MEMS气体传感器 | 第25-33页 |
| 2.1 实验试剂与仪器 | 第25-26页 |
| 2.2 纳米SnO_2的制备 | 第26-27页 |
| 2.3 SnO_2基MEMS气体传感器的制备 | 第27页 |
| 2.4 材料的表征 | 第27页 |
| 2.5 SnO_2基MEMS气体传感器气敏性能测试 | 第27-30页 |
| 2.5.1 最佳加热电压的确定 | 第27-28页 |
| 2.5.2 对目标气体的响应 | 第28-29页 |
| 2.5.3 传感器的选择性 | 第29-30页 |
| 2.5.4 响应与恢复时间 | 第30页 |
| 2.6 气敏机理 | 第30-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-33页 |
| 3 Zn掺杂的SnO_2基MEMS气体传感器的研究 | 第33-43页 |
| 3.1 实验仪器与设备 | 第34页 |
| 3.2 Zn掺杂SnO_2基纳米材料的制备 | 第34页 |
| 3.3 ZnO-SnO_2气体传感器的制备 | 第34页 |
| 3.4 材料的表征 | 第34-37页 |
| 3.4.1 XRD表征 | 第34-35页 |
| 3.4.2 SEM表征 | 第35-37页 |
| 3.5 气敏性能测试与表征 | 第37-40页 |
| 3.5.1 最佳加热电压的确定 | 第37-38页 |
| 3.5.2 最佳掺杂比的确定 | 第38-39页 |
| 3.5.3 对目标气体的选择型 | 第39页 |
| 3.5.4 响应和恢复时间 | 第39-40页 |
| 3.6 气敏机理 | 第40-41页 |
| 3.7 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 考察CeO_2对ZnO-SnO_2材料气敏性能的影响 | 第43-52页 |
| 4.1 实验试剂与仪器 | 第43-44页 |
| 4.2 CeO_2/ZnO-SnO_2材料的制备 | 第44页 |
| 4.3 CeO_2/ZnO-SnO_2传感器的制备 | 第44页 |
| 4.4 CeO_2/ZnO-SnO_2材料的表征 | 第44-46页 |
| 4.4.1 XRD表征 | 第44-45页 |
| 4.4.2 SEM表征 | 第45-46页 |
| 4.5 CeO_2/ZnO-SnO_2传感器的气敏性能测试 | 第46-50页 |
| 4.5.1 最佳加热电压的确定 | 第46-47页 |
| 4.5.2 最佳加入量的确定 | 第47-48页 |
| 4.5.3 对目标气体的选择型 | 第48-49页 |
| 4.5.4 响应与恢复时间 | 第49-50页 |
| 4.6 机理分析 | 第50-51页 |
| 4.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 考察ThO_2对ZnO-SnO_2材料气敏性能的影响 | 第52-60页 |
| 5.1 实验试剂与仪器 | 第52页 |
| 5.2 ThO_2/ZnO-SnO_2材料的制备 | 第52页 |
| 5.3 ThO_2/ZnO-SnO_2传感器的制备 | 第52-53页 |
| 5.4 ThO_2/ZnO-SnO_2材料的表征 | 第53-55页 |
| 5.4.1 XRD表征 | 第53-54页 |
| 5.4.2 SEM表征 | 第54-55页 |
| 5.5 气敏性能测试 | 第55-58页 |
| 5.5.1 最佳加热电压的确定 | 第55-56页 |
| 5.5.2 最佳加入量的确定 | 第56-57页 |
| 5.5.3 对目标气体的选择型 | 第57页 |
| 5.5.4 响应与恢复时间 | 第57-58页 |
| 5.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 6 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 个人简历、在学校期间发表的学术论文及研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
