柔性多维精密定位平台的设计及误差分析
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.1.1 研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.1.2 精密定位的类型 | 第9-10页 |
| 1.2 精密定位平台结构设计研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 串联式定位平台 | 第10-11页 |
| 1.2.2 并联式定位平台 | 第11-12页 |
| 1.2.3 混联式定位平台 | 第12-13页 |
| 1.3 精密定位平台误差分析研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 误差检测技术 | 第13-14页 |
| 1.3.2 误差补偿方法 | 第14-15页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 2 精密定位平台的基本原理及误差理论 | 第17-29页 |
| 2.1 定位平台的结构组成 | 第17-24页 |
| 2.1.1 微位移驱动器 | 第17-19页 |
| 2.1.2 传动导轨 | 第19-21页 |
| 2.1.3 位移放大机构 | 第21-24页 |
| 2.2 误差分析基础理论 | 第24-28页 |
| 2.2.1 误差的传递与分配 | 第24-26页 |
| 2.2.2 误差的合成 | 第26-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 精密定位平台的结构设计及运动学分析 | 第29-43页 |
| 3.1 定位平台的结构设计 | 第29-30页 |
| 3.2 定位平台的静态刚度及运动方程 | 第30-38页 |
| 3.2.1 静态刚度矩阵 | 第30-34页 |
| 3.2.2 运动学正解方程 | 第34-38页 |
| 3.3 位姿描述方程 | 第38-42页 |
| 3.3.1 坐标变换 | 第39-40页 |
| 3.3.2 RPY角位姿描述 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 精密定位平台的误差分析与精度综合 | 第43-65页 |
| 4.1 定位平台的误差源分析 | 第43-47页 |
| 4.1.1 驱动误差 | 第43-44页 |
| 4.1.2 建模误差 | 第44-45页 |
| 4.1.3 检测误差 | 第45-46页 |
| 4.1.4 加工误差 | 第46-47页 |
| 4.2 定位平台的误差建模 | 第47-54页 |
| 4.2.1 位姿误差数学模型 | 第47-50页 |
| 4.2.2 位姿误差仿真分析 | 第50-54页 |
| 4.3 定位平台的误差权重系数 | 第54-58页 |
| 4.3.1 误差权重系数建模 | 第54-55页 |
| 4.3.2 权重系数数值仿真 | 第55-57页 |
| 4.3.3 精度补偿模型 | 第57-58页 |
| 4.4 定位平台的精度综合 | 第58-63页 |
| 4.4.1 精度综合建模 | 第58-62页 |
| 4.4.2 精度综合数值仿真 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 5 精密定位平台的制造应用与试验 | 第65-81页 |
| 5.1 定位平台的线切割加工 | 第65-69页 |
| 5.1.1 材料选择 | 第65-66页 |
| 5.1.2 加工流程与方法 | 第66-67页 |
| 5.1.3 线切割加工 | 第67-69页 |
| 5.2 定位平台在纳米压印光刻机中的应用 | 第69-73页 |
| 5.2.1 光刻机的工作原理 | 第69-70页 |
| 5.2.2 定位平台在光刻机中的应用 | 第70-73页 |
| 5.3 定位平台的试验研究 | 第73-80页 |
| 5.3.1 输出特性试验 | 第73-75页 |
| 5.3.2 精度补偿试验 | 第75-77页 |
| 5.3.3 线性度试验 | 第77-78页 |
| 5.3.4 重复定位精度试验 | 第78-79页 |
| 5.3.5 综合性能评价 | 第79-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 结论与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 全文总结 | 第81页 |
| 6.2 工作展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 附录 | 第89页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第89页 |
| B. 作者在攻读学位期间申请的发明专利目录 | 第89页 |
| C. 作者在攻读学位期间参加的科研项目目录 | 第89页 |
