中文摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
第1章 绪论 | 第9-21页 |
1.1 课题研究背景及研究意义 | 第9-11页 |
1.2 ZnO和SnO_2半导体材料介绍 | 第11-12页 |
1.2.1 ZnO的结构和基本性质 | 第11页 |
1.2.2 SnO_2的结构和基本性质 | 第11-12页 |
1.3 纳米支撑结构材料概述 | 第12-19页 |
1.3.1 ZnO基以及SnO_2基纳米支撑结构材料研究现状 | 第12-17页 |
1.3.2 纳米支撑材料的制备方法 | 第17-18页 |
1.3.3 ZnO基和SnO_2基纳米材料的发展趋势 | 第18-19页 |
1.4 论文研究的主要内容 | 第19-21页 |
第2章 气敏元件的制作及其敏感机制分析 | 第21-34页 |
2.1 气敏材料的制备方式 | 第21-23页 |
2.1.1 水热法简介 | 第21页 |
2.1.2 水热法的基本原理和基本过程 | 第21-23页 |
2.2 气敏元件的制备 | 第23-26页 |
2.2.1 气敏传感器的结构 | 第23-24页 |
2.2.2 金叉指电极的设计 | 第24-25页 |
2.2.3 传感器的制作工艺流程 | 第25-26页 |
2.3 半导体金属氧化物材料的敏感机理 | 第26-30页 |
2.3.1 吸附氧理论 | 第26-27页 |
2.3.2 晶界势垒模型 | 第27-28页 |
2.3.3 一维ZnO纳米材料对乙醇的气敏机理 | 第28-30页 |
2.4 ZnO/SnO_2材料对乙醇的气敏机理 | 第30-33页 |
2.4.1 吸附氧理论 | 第30-31页 |
2.4.2 n-n型异质结的影响 | 第31-33页 |
2.5 本章小结 | 第33-34页 |
第3章 ZnO/SnO_2的制备与表征 | 第34-51页 |
3.1 主要试剂和仪器 | 第34-35页 |
3.2 一维ZnO纳米结构的制备以及表征 | 第35-43页 |
3.2.1 纺锤形状ZnO纳米棒的制备以及表征 | 第35-36页 |
3.2.2 圆柱形ZnO纳米棒/纳米线的制备以及表征 | 第36-42页 |
3.2.3 一维ZnO纳米结构的X射线衍射分析 | 第42-43页 |
3.3 ZnO/SnO_2的制备与表征 | 第43-49页 |
3.3.1 一步水热法制备ZnO/SnO_2及其表征 | 第43-44页 |
3.3.2 两步水热法制备ZnO/SnO_2及其表征 | 第44-47页 |
3.3.3 ZnO/SnO_2的X射线衍射分析 | 第47-49页 |
3.3.4 ZnO/SnO_2的透射电子显微镜分析 | 第49页 |
3.4 本章小结 | 第49-51页 |
第4章 ZnO/SnO_2对乙醇气敏性能的检测 | 第51-61页 |
4.1 气敏测试系统 | 第51-52页 |
4.2 气敏元件主要测试参数 | 第52-53页 |
4.2.1 灵敏度 | 第52页 |
4.2.2 工作温度 | 第52-53页 |
4.2.3 选择性 | 第53页 |
4.2.4 响应和恢复时间 | 第53页 |
4.3 ZnO/SnO_2材料对乙醇气敏性能测试 | 第53-60页 |
4.3.1 一维ZnO与ZnO/SnO_2材料的工作温度测试 | 第53-55页 |
4.3.2 ZnO/SnO_2材料对乙醇灵敏度的测试 | 第55-56页 |
4.3.3 ZnO/SnO_2材料的选择性测试 | 第56-58页 |
4.3.4 ZnO/SnO_2材料的响应时间与恢复时间测试 | 第58-60页 |
4.4 本章小结 | 第60-61页 |
结论 | 第61-63页 |
参考文献 | 第63-70页 |
致谢 | 第70页 |