| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-12页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 论文结构安排 | 第11页 |
| 参考文献 | 第11-12页 |
| 第二章 光纤通信系统中PIN光探测器概述 | 第12-30页 |
| 2.1 光纤通信系统的发展历史 | 第12-13页 |
| 2.2 光纤通信系统的组成 | 第13-14页 |
| 2.3 光纤通信系统中的光探测器 | 第14-19页 |
| 2.3.1 PIN光探测器 | 第14-16页 |
| 2.3.2 雪崩光电二极管(APD) | 第16-17页 |
| 2.3.3 单行载流子光探测器(UTC-PD) | 第17-18页 |
| 2.3.4 金属-半导体—金属光探测器(MSM-PD) | 第18-19页 |
| 2.4 PIN光探测的性能参数 | 第19-22页 |
| 2.4.1 光探测器的波长响应 | 第19页 |
| 2.4.2 光电转换效率 | 第19-20页 |
| 2.4.3 响应速度 | 第20-21页 |
| 2.4.4 暗电流 | 第21-22页 |
| 2.5 PIN光探测器的研究现状 | 第22-27页 |
| 2.5.1 波导型PIN光探测器 | 第22页 |
| 2.5.2 谐振增强型PIN光探测器 | 第22-23页 |
| 2.5.3 漂移增强型光探测器 | 第23-24页 |
| 2.5.4 双吸收层型PIN光探测器 | 第24页 |
| 2.5.5 四镜三腔谐振腔增强型光探测器(M4C3-PD) | 第24-25页 |
| 2.5.6 一镜斜置三镜腔型光电探测器 | 第25-26页 |
| 2.5.7 蘑菇型光探测器 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第三章 蘑菇型光探测器的理论研究与设计 | 第30-44页 |
| 3.1 响应速度计算模型 | 第30-32页 |
| 3.1.1 载流子漂移速度 | 第30页 |
| 3.1.2 RC时间常数 | 第30-32页 |
| 3.2 量子效率计算模型 | 第32页 |
| 3.3 响应速度计算模型的改进 | 第32-37页 |
| 3.3.1 电压对带宽的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.2 器件吸收区厚度对带宽的影响 | 第36页 |
| 3.3.3 器件效率带宽积 | 第36-37页 |
| 3.4 基于二维光栅的蘑菇型光探测器的理论研究与设计 | 第37-42页 |
| 3.4.1 蘑菇型光探测器的理论研究与设计 | 第37-39页 |
| 3.4.2 二维反射汇聚光栅 | 第39-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第四章 蘑菇型光探测器关键制备工艺研究 | 第44-55页 |
| 4.1 半导体光探测器制备工艺 | 第44-49页 |
| 4.1.1 外延片生长 | 第44页 |
| 4.1.2 外延片质量测试 | 第44-45页 |
| 4.1.3 光刻 | 第45-47页 |
| 4.1.4 湿法腐蚀 | 第47页 |
| 4.1.5 离子去胶 | 第47-48页 |
| 4.1.6 镀膜和剥离工艺 | 第48页 |
| 4.1.7 钝化 | 第48-49页 |
| 4.2 蘑菇型光探测器制备过程中的关键工艺 | 第49-53页 |
| 4.2.1 蘑菇型结构的制备技术验证 | 第49-52页 |
| 4.2.2 探测器中制备蘑菇型结构的难题 | 第52-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 第五章 探测器工艺制备与测试 | 第55-61页 |
| 5.1 蘑菇型光探测器制备流程 | 第55-57页 |
| 5.2 二维非周期光栅制备工艺和集成工艺 | 第57-58页 |
| 5.3 探测器性能测试 | 第58-60页 |
| 5.3.1 响应度测试 | 第58-59页 |
| 5.3.2 频率响应测试 | 第59-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第63页 |
