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IC制造装备无齿轮罗茨真空泵永磁同步电动机控制研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-13页
    1.1 屏蔽泵的发展与应用第9页
    1.2 罗茨真空泵简介第9-10页
    1.3 本科题的来源与意义第10-11页
    1.4 本科题的难点与主要工作第11-13页
        1.4.1 课题的难点第11-12页
        1.4.2 主要工作第12-13页
第2章 罗茨真空泵用永磁同步电动机设计及电磁场分析第13-18页
    2.1 永磁屏蔽同步电机的技术要求和电磁设计第13-14页
    2.2 罗茨泵用永磁同步电动机电磁场仿真第14-17页
        2.2.1 电磁场理论第14-16页
        2.2.2 有限元仿真计算结果第16-17页
    2.3 本章小结第17-18页
第3章 永磁同步电动机控制系统的数学模型第18-34页
    3.1 三相的数学模型第18-21页
        3.1.1 三相PMSM的结构特点第18页
        3.1.2 自然坐标系下的数学模型第18-19页
        3.1.3 同步旋转坐标系下的数学建模第19-21页
    3.2 坐标变换第21-24页
        3.2.1 Clark变换第21-22页
        3.2.2 Park变换第22-24页
    3.3 空间矢量脉宽调制技术第24-33页
        3.3.1 SVPWM模块功能及设计原理第25-30页
        3.3.2 电压空间矢量的合成与SVPWM控制第30-33页
    3.4 本章总结第33-34页
第4章 基于电方式双电机同步同位置控制仿真分析第34-63页
    4.1 单永磁同步电机的控制特性第34-42页
        4.1.1 电流环调节器的参数整定第35-39页
        4.1.2 转速环调节器的参数整定第39-40页
        4.1.3 位置环调节器参数整定第40页
        4.1.4 干扰观测器参数整定第40-41页
        4.1.5 仿真验证第41-42页
    4.2 双永磁同步电机的控制策略第42-56页
        4.2.1 主从同步控制第43-45页
        4.2.2 并行结构第45-48页
        4.2.3 交叉耦合结构第48-50页
        4.2.4 采用虚拟电机的交叉耦合控制第50-56页
    4.3 罗茨真空泵双电机驱动效果第56-62页
        4.3.1 抽气速率和容积利用系数第56-60页
        4.3.2 罗茨泵真空度第60-61页
        4.3.3 抽速系统仿真第61-62页
    4.4 本章总结第62-63页
第5章 结论第63-64页
参考文献第64-67页
在学研究成果第67-68页
致谢第68页

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