| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 聚对二甲苯类有机涂层简介 | 第12-13页 |
| 1.2 聚对二甲苯类有机涂层制备方法 | 第13-14页 |
| 1.2.1 化学气相沉积法 | 第13页 |
| 1.2.2 化学气相沉积法的分类 | 第13页 |
| 1.2.3 化学气相沉积法的基本条件 | 第13-14页 |
| 1.2.4 化学气相沉积法的优点 | 第14页 |
| 1.3 化学气相沉积法形成涂层的动力学过程 | 第14-16页 |
| 1.3.1 聚对二甲苯类有机涂层的聚合反应过程 | 第14-15页 |
| 1.3.2 聚对二甲苯类有机涂层的特性 | 第15-16页 |
| 1.4 聚对二甲苯类有机涂层的应用领域 | 第16-17页 |
| 1.5 电介质材料及其性能表征 | 第17-18页 |
| 1.5.1 电介质材料的极化 | 第17页 |
| 1.5.2 电介质材料性能的表征 | 第17-18页 |
| 1.6 聚合物涂层材料的研究进展 | 第18-21页 |
| 1.7 本课题研究的现实意义及目的 | 第21-25页 |
| 1.7.1 本课题研究现实意义 | 第21-22页 |
| 1.7.2 研究目的 | 第22-25页 |
| 2 实验部分 | 第25-40页 |
| 2.1 实验所用原料及分析仪器 | 第25-27页 |
| 2.1.1 实验原料的选择 | 第25-26页 |
| 2.1.2 分析测试仪器 | 第26-27页 |
| 2.2 实验设备的研制 | 第27-30页 |
| 2.2.1 涂覆装置蒸发段和裂解段的设计 | 第27-28页 |
| 2.2.2 涂覆沉积腔体的设计 | 第28页 |
| 2.2.3 大体积空间镀覆均匀性的控制 | 第28-30页 |
| 2.3 Parylene C 样品制备实验 | 第30-33页 |
| 2.3.1 Parylene C 样品制备操作步骤 | 第30-31页 |
| 2.3.2 样品制备流程图 | 第31页 |
| 2.3.3 Parylene C 涂层成涂层原理 | 第31-33页 |
| 2.4 成涂层工艺参数的选择 | 第33-38页 |
| 2.4.1 蒸发温度的选择 | 第33-34页 |
| 2.4.2 裂解温度的选择 | 第34-35页 |
| 2.4.3 沉积室温度的选择 | 第35-36页 |
| 2.4.4 真空度对成涂层厚度的影响 | 第36-38页 |
| 2.5 动力学过程与成涂层厚度的关系 | 第38-39页 |
| 2.6 Parylene C 涂层应用样品的制备 | 第39页 |
| 2.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 3 Parylene C 涂层样品的表征实验 | 第40-62页 |
| 3.1 红外光谱吸收实验 | 第40-41页 |
| 3.2 扫描电镜能谱分析 | 第41-42页 |
| 3.3 Parylene C 涂层热性能的分析 | 第42-44页 |
| 3.3.1 热重分析实验 | 第42-43页 |
| 3.3.2 差示扫描量热实验 | 第43-44页 |
| 3.4 Parylene C 涂层防渗透性能的测试 | 第44-50页 |
| 3.4.1 对纸质镀覆材料的分析 | 第44-45页 |
| 3.4.2 涂覆样品的吸水率的计算 | 第45-47页 |
| 3.4.3 Parylene C 涂层样品表面接触角的测试 | 第47-50页 |
| 3.5 Parylene 涂层电化学性能的测试 | 第50-55页 |
| 3.5.1 电化学电极的制作 | 第50页 |
| 3.5.2 电化学性能实验 | 第50-55页 |
| 3.6 Parylene C 介电性能的表征 | 第55-61页 |
| 3.6.1 Parylene C 介电常数测定实验 | 第55-56页 |
| 3.6.2 工艺参数对介电性能的影响 | 第56-61页 |
| 3.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 4 Parylene 涂层的应用 | 第62-68页 |
| 4.1 Parylene 防护性能的应用 | 第62-63页 |
| 4.2 泡沫电容器 | 第63-64页 |
| 4.2.1 泡沫材料制备方法的选择 | 第64页 |
| 4.2.2 泡沫铜样品的制备 | 第64页 |
| 4.3 泡沫铜比表面积测试 | 第64-65页 |
| 4.4 覆涂层泡沫铜电极电化学性能 | 第65-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
