| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 光学自由曲面概述 | 第9-13页 |
| 1.2.1 光学自由曲面的简介 | 第9-10页 |
| 1.2.2 常用的光学自由曲面的测量方法 | 第10-13页 |
| 1.3 波前传感技术的发展和现状 | 第13-17页 |
| 1.4 课题来源及研究内容 | 第17页 |
| 1.5 本文研究内容介绍与安排 | 第17-18页 |
| 第二章 SHWS 工作原理 | 第18-33页 |
| 2.1 夏克-哈特曼波前传感器的测量原理 | 第18-19页 |
| 2.2 夏克-哈特曼波前传感器的物理极限 | 第19-20页 |
| 2.3 光斑质心的计算 | 第20-23页 |
| 2.4 波前重建算法 | 第23-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于 SHWS 的自由曲面面形测量系统仿真 | 第33-48页 |
| 3.1 测量系统的光路设计 | 第33-34页 |
| 3.2 测量系统的 Zemax 仿真 | 第34-35页 |
| 3.3 测量动态范围的增大 | 第35-38页 |
| 3.4 反射波前到面形的映射模型建立 | 第38-42页 |
| 3.4.1 传统反射波前与面形的关系 | 第39页 |
| 3.4.2 反射波前到面形的映射模型的提出 | 第39-42页 |
| 3.5 分光棱镜引入误差的分析与建模 | 第42-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 自由曲面面形测量实验验证 | 第48-55页 |
| 4.1 测量系统的搭建 | 第48-49页 |
| 4.2 测量系统的标定 | 第49-50页 |
| 4.3 测量系统的装调 | 第50-52页 |
| 4.4 立方相位板面形测量 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 总结 | 第55页 |
| 5.2 展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |