太阳能电池生产线PECVD设备三维建模与仿真优化
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5页 |
第一章 绪论 | 第8-15页 |
1.1 课题的研究背景和意义 | 第8-13页 |
1.1.1 太阳能电池的起源与应用 | 第8-10页 |
1.1.2 非晶硅太阳能电池及其特点 | 第10-11页 |
1.1.3 非晶硅太阳能电池生产线的关键设备 | 第11-13页 |
1.2 国内外发展状况 | 第13-14页 |
1.3 本文的研究内容 | 第14-15页 |
第二章 PECVD 设备三维实体模型的建立 | 第15-27页 |
2.1 引言 | 第15页 |
2.2 三维实体造型技术概述 | 第15-17页 |
2.2.1 产品三维建模的重要意义 | 第15-16页 |
2.2.2 三维建模的基本思路 | 第16-17页 |
2.3 三维建模软件的选择 | 第17-18页 |
2.4 建立零件模型 | 第18-24页 |
2.4.1 顶罩 | 第19页 |
2.4.2 装条顶板 | 第19-20页 |
2.4.3 槽条 | 第20页 |
2.4.4 极板及其配件 | 第20-21页 |
2.4.5 侧板 | 第21-22页 |
2.4.6 下支架桥 | 第22页 |
2.4.7 角座支架 | 第22-23页 |
2.4.8 前后盖 | 第23页 |
2.4.9 U 型铝槽 | 第23-24页 |
2.5 零件装配成装配体 | 第24-25页 |
2.6 小结 | 第25-27页 |
第三章 PECVD 设备的有限元分析 | 第27-56页 |
3.1 引言 | 第27页 |
3.2 有限元技术和 ANSYS 应用软件 | 第27-36页 |
3.2.1 有限元技术现状及其发展趋势 | 第27-28页 |
3.2.2 有限单元法的基本思想及特点 | 第28-31页 |
3.2.3 ANSYS 应用软件介绍 | 第31-36页 |
3.3 PECVD 设备的有限元模型和计算 | 第36-55页 |
3.3.1 ANSYS 中模型的建立与网格化 | 第36-45页 |
3.3.2 极板的有限元分析 | 第45-49页 |
3.3.3 侧板的有限元分析 | 第49-52页 |
3.3.4 下支架桥的有限元分析 | 第52-55页 |
3.4 小结 | 第55-56页 |
第四章 PECVD 设备送料机构创新设计 | 第56-63页 |
4.1 引言 | 第56页 |
4.2 机械创新设计方法简介 | 第56-57页 |
4.3 送料机构的创新设计 | 第57-62页 |
4.3.1 设计的基本思想 | 第57页 |
4.3.2 建立机构零件三维模型 | 第57-59页 |
4.3.3 将零件装配成整体并进行仿真分析 | 第59-62页 |
4.4 小结 | 第62-63页 |
第五章 结论和展望 | 第63-64页 |
5.1 结论 | 第63页 |
5.2 展望 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-66页 |
发表论文和科研情况说明 | 第66-67页 |
致谢 | 第67页 |