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太阳能电池生产线PECVD设备三维建模与仿真优化

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-15页
    1.1 课题的研究背景和意义第8-13页
        1.1.1 太阳能电池的起源与应用第8-10页
        1.1.2 非晶硅太阳能电池及其特点第10-11页
        1.1.3 非晶硅太阳能电池生产线的关键设备第11-13页
    1.2 国内外发展状况第13-14页
    1.3 本文的研究内容第14-15页
第二章 PECVD 设备三维实体模型的建立第15-27页
    2.1 引言第15页
    2.2 三维实体造型技术概述第15-17页
        2.2.1 产品三维建模的重要意义第15-16页
        2.2.2 三维建模的基本思路第16-17页
    2.3 三维建模软件的选择第17-18页
    2.4 建立零件模型第18-24页
        2.4.1 顶罩第19页
        2.4.2 装条顶板第19-20页
        2.4.3 槽条第20页
        2.4.4 极板及其配件第20-21页
        2.4.5 侧板第21-22页
        2.4.6 下支架桥第22页
        2.4.7 角座支架第22-23页
        2.4.8 前后盖第23页
        2.4.9 U 型铝槽第23-24页
    2.5 零件装配成装配体第24-25页
    2.6 小结第25-27页
第三章 PECVD 设备的有限元分析第27-56页
    3.1 引言第27页
    3.2 有限元技术和 ANSYS 应用软件第27-36页
        3.2.1 有限元技术现状及其发展趋势第27-28页
        3.2.2 有限单元法的基本思想及特点第28-31页
        3.2.3 ANSYS 应用软件介绍第31-36页
    3.3 PECVD 设备的有限元模型和计算第36-55页
        3.3.1 ANSYS 中模型的建立与网格化第36-45页
        3.3.2 极板的有限元分析第45-49页
        3.3.3 侧板的有限元分析第49-52页
        3.3.4 下支架桥的有限元分析第52-55页
    3.4 小结第55-56页
第四章 PECVD 设备送料机构创新设计第56-63页
    4.1 引言第56页
    4.2 机械创新设计方法简介第56-57页
    4.3 送料机构的创新设计第57-62页
        4.3.1 设计的基本思想第57页
        4.3.2 建立机构零件三维模型第57-59页
        4.3.3 将零件装配成整体并进行仿真分析第59-62页
    4.4 小结第62-63页
第五章 结论和展望第63-64页
    5.1 结论第63页
    5.2 展望第63-64页
参考文献第64-66页
发表论文和科研情况说明第66-67页
致谢第67页

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