介质谐振器法等离子体检测技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 等离子体检测技术研究现状 | 第11-22页 |
| 1.2.1 接触式检测方法 | 第11-16页 |
| 1.2.1.1 朗缪尔探针法 | 第12-13页 |
| 1.2.1.2 磁探针法 | 第13-14页 |
| 1.2.1.3 微波共振探针法 | 第14-16页 |
| 1.2.2 非接触式检测方法 | 第16-22页 |
| 1.2.2.1 微波干涉检测法 | 第16-18页 |
| 1.2.2.2 等离子体电子回旋辐射法 | 第18-19页 |
| 1.2.2.3 微波谐振腔法 | 第19-21页 |
| 1.2.2.4 光谱法 | 第21-22页 |
| 1.3 本文主要内容及结构安排 | 第22-23页 |
| 第二章 等离子体物理基础 | 第23-37页 |
| 2.1 德拜长度 | 第23-26页 |
| 2.2 等离子体频率 | 第26-29页 |
| 2.3 等离子体温度 | 第29页 |
| 2.4 等离子体温度平衡时间 | 第29-30页 |
| 2.5 等离子体判断 | 第30-31页 |
| 2.6 等离子体的微波特性 | 第31-36页 |
| 2.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 介质谐振器法等离子体检测原理 | 第37-60页 |
| 3.1 孤立的圆柱形介质谐振器 | 第37-42页 |
| 3.2 圆柱形介质波导的介电性能 | 第42-44页 |
| 3.2.1 介电常数 | 第42-43页 |
| 3.2.2 品质因数 | 第43-44页 |
| 3.2.3 谐振频率温度系数 | 第44页 |
| 3.3 圆柱形介质谐振器检测理论 | 第44-56页 |
| 3.3.1 终端未加载样品理论模型 | 第45-48页 |
| 3.3.2 终端多层结构理论模型 | 第48-53页 |
| 3.3.3 特征方程组的求解 | 第53-56页 |
| 3.4 理论验证分析 | 第56-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 测试系统的设计与实现 | 第60-70页 |
| 4.1 介质谐振器的尺寸设计 | 第60-64页 |
| 4.2 等离子体源 | 第64-65页 |
| 4.3 介质谐振器耦合装置及移动装置 | 第65-67页 |
| 4.4 测试系统及测试流程 | 第67-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第70-80页 |
| 5.1 实验数据 | 第70-78页 |
| 5.2 误差分析 | 第78-80页 |
| 第六章 总结 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第86-87页 |
