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Cu-Sn互连界面的尺寸效应及微力学特性

摘要第4-7页
Abstract第7-10页
第一章 绪论第13-35页
    1.1 研究背景第13-15页
    1.2 国内外研究现状第15-32页
    1.3 研究目的第32-33页
    1.4 研究内容第33-35页
第二章 Sn-1%Cu/Cu焊点老化过程中金属间化合物的生长第35-55页
    2.1 引言第35页
    2.2 水平方向IMC的生长第35-41页
    2.3 垂直IMC的生长第41-48页
    2.4 分析与讨论第48-53页
    2.5 本章小结第53-55页
第三章 老化过程中Sn-1%Cu/Cu焊点IMC层的体积收缩第55-74页
    3.1 引言第55页
    3.2 焊点体积收缩研究第55-66页
    3.3 焊点体积收缩的影响第66-72页
    3.4 本章小结第72-74页
第四章 老化过程中界面IMC层生长导致的残余应力第74-101页
    4.1 引言第74页
    4.2 实验的理论基础第74-78页
    4.3 纳米压痕实验步骤第78-80页
    4.4 实验结果第80-95页
    4.5 分析与讨论第95-100页
    4.6 本章小结第100-101页
第五章 IMC生长的体积收缩对BGA蠕变的影响第101-119页
    5.1 引言第101页
    5.2 压蠕变实验步骤第101-108页
    5.3 实验结果第108-114页
    5.4 分析与讨论第114-118页
    5.5 本章小结第118-119页
第六章 Cu-Sn金属间化合物对焊点断裂行为的影响第119-146页
    6.1 引言第119页
    6.2 IMC微柱的断裂行为第119-138页
    6.3 IMC对焊点断裂行为的影响第138-144页
    6.4 分析与讨论第144-145页
    6.5 本章小结第145-146页
第七章 结论及创新点第146-152页
    7.1 主要结论第146-148页
    7.2 创新点第148-149页
    7.3 研究展望第149-152页
致谢第152-153页
参考文献第153-172页
附录一 攻读博士期间发表的论文第172页

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